涂布机显像机药液喷吐流量的监测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种涂布机显像机药液喷吐流量的监测装置，包括流量监测主控制器，流量监测主控制器的输入连接信号放大器的一端，信号放大器的另一端连接到位传感器，到位传感器设置于浮球流量计的浮球上；流量监测主控制器的输出连接电磁阀电信号采集分路，电磁阀电信号采集分路连接喷吐控制电磁阀。本实用新型专利技术通过光电到位传感器采集浮球流量计的流量数据，并通过流量监测主控制器进行识别和判断，能够准确而实时地监测药液喷吐流量到位状况，有效地避免由于药液喷吐流量异常且无机台报警造成的硅片工艺不全、低良率、报废等现象的发生。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种涂布机显像机，具体涉及一种涂布机显像机药液喷吐流量的监测装置。
技术介绍
现有的涂布机显像机，对于工艺中使用到的各种药液如预涂胶HMDS (六甲基二硅胺)、有机溶剂、显像液、去离子水等的喷吐流量只能通过浮球流量计显示，并且没有判断异常和报警的功能。因此，对于涂布机显像机的药液喷吐流量的监测，只能单纯依靠操作人员或者维护人员划定浮球流量计的流量刻度位置并通过日常点检来观察，缺乏时效性和准确性。由于喷吐流量的异常而导致的硅片低良率、报废的事例也无从查证。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种涂布机显像机药液喷吐流量的监测装置，它可以监测药液喷吐流量到位状况。为解决上述技术问题，本技术涂布机显像机药液喷吐流量的监测装置的技术解决方案为包括流量监测主控制器，流量监测主控制器的输入连接信号放大器的一端，信号放大器的另一端连接到位传感器，到位传感器设置于浮球流量计的浮球上；流量监测主控制器的输出连接电磁阀电信号采集分路，电磁阀电信号采集分路连接喷吐控制电磁阀。所述到位传感器为光电式到位传感器。所述信号放大器为光电式信号放大器。本技术可以达到的技术效果是本技术通过光电到位传感器采集浮球流量计的流量数据，并通过流量监测主控制器进行识别和判断，能够准确而实时地监测药液喷吐流量到位状况，有效地避免由于药液喷吐流量异常且无机台报警造成的硅片工艺不全、低良率、报废等现象的发生。以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明图I是本技术涂布机显像机药液喷吐流量的监测装置的示意图。图中附图标记说明I为流量监测主控制器，2为电磁阀电信号采集分路，3为光电到位传感器，4为光电信号放大器，10为浮球流量计，20为喷吐控制电磁阀。具体实施方式如图I所示，本技术涂布机显像机药液喷吐流量的监测装置，包括流量监测主控制器I，流量监测主控制器I的输入连接光电信号放大器4的一端,光电信号放大器4的另一端连接光电到位传感器3，光电到位传感器3设置于浮球流量计10的浮球上；流量监测主控制器I具有时序处理和报警输出功能，光电信号放大器4具有感度调节功能；流量监测主控制器I的输出连接电磁阀电信号采集分路2，电磁阀电信号采集分路2连接喷吐控制电磁阀20 ;电磁阀电信号采集分路2用于向流量监测主控制器I提供喷吐控制电磁阀20的直流5伏信号。本技术的工作原理如下通过光电到位传感器3采集浮球流量计10的流量数据，通过电磁阀电信号采集分路2采用喷吐控制电磁阀20的喷吐信号，传送给带有时序和判断功能的流量监测主控制器I。本技术设置于药液喷吐管路的浮球流量计上，用于硅片制造过程中流量的监控。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布机显像机药液喷吐流量的监测装置，其特征在于：包括流量监测主控制器，流量监测主控制器的输入连接信号放大器的一端，信号放大器的另一端连接到位传感器，到位传感器设置于浮球流量计的浮球上；流量监测主控制器的输出连接电磁阀电信号采集分路，电磁阀电信号采集分路连接喷吐控制电磁阀。

【技术特征摘要】
1.一种涂布机显像机药液喷吐流量的监测装置，其特征在于包括流量监测主控制器，流量监测主控制器的输入连接信号放大器的一端，信号放大器的另一端连接到位传感器，到位传感器设置于浮球流量计的浮球上；流量监测主控制器的输出连接电磁阀电信号采集分路，电磁阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：丘志春，陈显旻，吴长明，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：