用于玻璃基板高温退火时的石英板制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于玻璃基板高温退火时的石英板，包括承载平面，用于在高温退火时承载玻璃基板；还包括：限位装置，设置在所述承载平面上，其靠近所述玻璃基板的侧面与所述玻璃基板的外周面相配合防止所述玻璃基板在高温退火时水平漂移出所述承载平面。由于设置有限位装置，所述限位装置能够对所述玻璃基板进行水平方向的漂移限制，从而利用本实用新型专利技术提供的石英板来承载所述玻璃基板进行高温退火时，所述玻璃基板不会相对所述石英板发生水平漂移，从而使得本实用新型专利技术的石英板使用时在不需要增大退火炉的尺寸的情况下就能够避免玻璃基板的漂移缺陷，同时很好地解决了玻璃基板漂移和成本控制的问题。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

用于玻璃基板高温退火时的石英板
本技术属于平面显示器的制造领域，具体涉及一种防止玻璃基板高温退火时发生漂移的石英板。
技术介绍
OLED (英文全称为0rganic Light-Emitting Diode,中文译为有机电致发光二极管)是主动发光器件，相比现有技术中流行的薄膜晶体管液晶显示器(英文缩写为 TFT-LCD)来说，OLED以其高对比度、广视角、低功耗以及体积薄等优点，成为目前平板显示技术中最受关注的技术。OLED采用电流驱动，所以每个像素的驱动电路必须保证足够大的输出电流，因此驱动电路中的薄膜晶体管采用的半导体材料必须使用迁移率较高的材料，目前应用最广泛的是多晶娃。多晶硅一般通过非晶硅结晶的方式形成，目前，非晶硅结晶成多晶硅的方法包括准分子激光结晶方法和高温退火结晶方法。准分子激光结晶方法使用激光瞬间熔化非晶硅薄膜使其由液态转变为多晶态， 该种方法的缺陷在于薄膜的晶粒大小会随着激光能量的差异而出现较大的波动，制成的 OLED产品有严重的不均匀性。高温退火结晶方法需要将沉积有非晶硅薄膜的玻璃基板3放在平面石英板4上进行退火，为了满足较高的迁移率，玻璃基板3需要在退火本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于玻璃基板高温退火时的石英板，包括承载平面（1），用于在高温退火时承载玻璃基板（3）；其特征在于，还包括：限位装置，设置在所述承载平面（1）上，其靠近所述玻璃基板（3）的侧面与所述玻璃基板（3）的外周面相配合防止所述玻璃基板（3）在高温退火时水平漂移出所述承载平面（1）。

【技术特征摘要】
2012.05.30 CN 201220249897.81.用于玻璃基板高温退火时的石英板，包括承载平面(1)，用于在高温退火时承载玻璃基板(3);其特征在于，还包括限位装置，设置在所述承载平面(I)上，其靠近所述玻璃基板(3)的侧面与所述玻璃基板(3)的外周面相配合防止所述玻璃基板(3)在高温退火时水平漂移出所述承载平面(I)。2.根据权利要求I所述的用于玻璃基板高温退火时的石英板，其特征在于所述限位装置为至少3个位于所述承载平面(I)上限制所述玻璃基板(3 )的直角卡槽(21)。3.根据权利要求2所述的用于玻璃基板高温退火时的石英板，其特征在于所述直角卡槽(21)为四个，分别设置于所述承载平面(I)的四角上。4.根据权利要求I所述的用于玻璃基板高温退火时的石英板，其特征在于所述限位装置为至少3个位于所述承载平面(I)上限制所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张洁，邱勇，黄秀颀，林立，魏博，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，
类型：实用新型
国别省市：