一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种可以准确地测试出闪耀光栅每个区域的沟槽微结构变异情况的闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统。本实用新型专利技术从光源模块发出的多波长宽光源以特定的入射角射入闪耀光栅，经闪耀光栅衍射后的光通过一个梳妆滤波器，梳妆滤波器滤出的波长再经由光谱仪接收，最后通过由Labview编写的程序对光谱仪接收到的波形进行数据分析来判断闪耀光栅的沟槽微结构变异情况。本实用新型专利技术的使用能够克服传统方法测试闪耀光栅沟槽微结构变异使用SEM、LSCM等昂贵的测试设备，测试范围小、测试速度慢和无法实现自动化等缺点，成本低、速度快，适用于大型企业和科研机构对闪耀光栅的沟槽微结构变异情况进行测试。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种衍射光栅微结构的测试系统，尤其是指一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统。本技术可以准确地测试出闪耀光栅沟槽微结构的变异区域和变异程度，能够广泛适用于要求检测多针连接器电学性能的各个领域，尤其是适用于大型企业和科研机构对闪耀光栅的沟槽微结构变异情况进行测试，成本低、速度快。
技术介绍
近年来，一系列新型光栅的出现对科学技术的发展和工业生产技术的革新发挥着越来越大的作用。把光栅做在光纤里面，产生了光纤光栅，促进了光纤通信产业的发展；光栅和波导的结合，产生了阵列波导光栅，是非常重要的光纤通信的波分复用器件。光栅推动了科学技术的发展，世界上对光栅的需求越来越大。传统光栅有很大的缺点，主要是衍射图样中没有色散的零级主最大总是占光能量 的很大一部分，其余光能分散在各级光谱中，而实际使用光栅时往往只利用它的某一级。这对光栅的应用是很不利的。闪耀光栅的出现则改善了这一缺点。闪耀光栅实现了单缝衍射中央最大值的位置从没有色散的零级光谱转移到其他有色散的光谱级上。因此，闪耀光栅的用途也越来越广泛。光栅单色仪多利用闪耀光栅作为分光原件；闪耀光栅在光通信领域也得到了广泛应用，如用于光信号解调、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统，其特征在于：包括光源模块、待测衍射光栅、梳妆滤波器及光谱仪，其中待测衍射光栅能够将特定角度入射的光按照设计的衍射级产生衍射光。

【技术特征摘要】
1.一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统，其特征在于包括光源模块、待测衍射光栅、梳妆滤波器及光谱仪，其中待测衍射光栅能够将特定角度入射的光按照设计的衍射级产生衍射光。2.根据权利要求I所述的一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统，其特征在于光源模块包含宽光源、双折射晶体、45°半波片、宽光源支架、双折射晶体支架及45°半波片支架，由宽光源发出的光射入双折射晶体后发生双折射，产生ο光和e光，e光通过放置在其前的45°半波片后成为ο光，即偏振方向垂直于待测闪耀光栅沟槽方向的多波长线偏振光。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹建兵，刘宏欣，陈志超，刘华，袁海骥，
申请(专利权)人：科纳技术苏州有限公司，
类型：实用新型
国别省市：