【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及准分子激光器双腔放电同步领域，特别是用作光刻光源的高重频ArF准分子激光器MOPA双腔气体放电同步控制，具体涉及两路反馈信号相对时差的精确测量系统。
技术介绍
目前，准分子激光是大规模半导体集成电路光刻的主要光源。随着光刻对光源输出功率和线宽要求的提高，单腔结构准分子激光器难以同时满足线宽与功率的要求。双腔结构的主振-振荡放大技术被引入以解决此矛盾。其基本思想是利用种子腔产生小能量的窄线宽种子光，注入放大腔输出大能量脉冲，从而得到窄线宽、大功率的优质激光束。典型的双腔结构为主振荡器-功率放大器(ΜΟΡΑ : Master oscillator power amplifier)结 构。MOPA双腔激光器高压放电产生激光。为了使激光系统正常运行，双腔放电时间必须同步。准分子激光器从脉冲触发到最后高压放电，将产生约十几微秒的延迟，而且双腔高压放电持续时间非常短，通常只有几十个纳秒。现有技术只能减小双腔放电时序误差，无法消除误差，最终产生的误差称为“抖动”。高重频ArF准分子激光器MOPA双腔气体放电的时间同步抖动要求在+/_5ns，本专利技术旨在精确测量...
【技术保护点】
两路反馈信号相对时差的精确测量系统，其特征在于：包括有两路反馈信号laser1、laser2的相对时差脉冲信号获得模块和TDC系统，两路反馈信号laser1、laser2分别经过滤波器滤波后接入比较器，再经过隔离器隔离后，送给相对时差脉冲信号获得模块，相对时差脉冲信号获得模块包括有4个D触发器、两个与门和一个或门电路，两路反馈信号laser1、laser2分别接入两个D触发器的时钟输入端CP，四个D触发器分为两组，一个接入反馈信号laser1的D触发器和一个接入反馈信号laser2的D触发器构成一组，每组的两个D触发器中一个由清零端？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李友布，鲍健，梁勖，赵家敏，王效顺，钱小东，
申请(专利权)人：中国科学院安徽光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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