下载一种闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统的技术资料

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本实用新型公开了一种可以准确地测试出闪耀光栅每个区域的沟槽微结构变异情况的闪耀光栅沟槽微结构变异的测试系统。本实用新型从光源模块发出的多波长宽光源以特定的入射角射入闪耀光栅,经闪耀光栅衍射后的光通过一个梳妆滤波器,梳妆滤波器滤出的波长再经由...
该专利属于科纳技术(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科纳技术(苏州)有限公司授权不得商用。

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