一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，包括：晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计取量后，供应后续的搅拌设备进行作业；盛装杯由晶圆研磨液混合定量筒内隔出，盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部；溢流液暂存器设于晶圆研磨液混合定量筒外，为侧上端开设回收孔下端开设回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；导管一端管接溢流孔另端管接回收孔；导回管一端管接回流孔另端往下通入晶圆研磨液混合定量筒底侧，及一开关阀，串设在导回管上。本实用新型专利技术具有使晶圆研磨液混合定量筒溢出的晶圆研磨原液能回补再利用的效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，能对晶圆研磨液混合定量筒将填注溢满的晶圆研磨原液，另加以旁引暂存再回送回研磨液混合定量筒，使晶圆研磨液混合定量筒不会注满溢出晶圆研磨原液，能充分回收利用溢出的晶圆研磨原液的新颍技术。
技术介绍
集成电路以及CPU都少不了晶圆的原料，但是晶圆从原矿中一提炼出来，须先加工处理铸聚成预定的形状及大小，再特别对炼制成产能的每块标准直径晶圆，进行一块块切割研磨，才能形成个别集成电路以及CPU所需的芯片，而对晶圆的研磨也必须非常精细讲究，否则粗糙的磨制也会浪费很多晶圆材料，使芯片成本大增，也因此晶圆的研磨皆仰赖专用的研磨机为之，而这些研磨机的前生产阶段，也都有其晶圆研磨反应液取用比例及混合搅拌的专用设备(取用比例仰赖晶圆研磨液混合定量筒，混合搅拌仰赖搅拌设备)，将二种研磨反应液，一为水性研磨浆液(二氧化硅，业界英文通称SLURRY，亦即后称之晶圆研磨原液)另一为纯水先各自额定取量，以最适当的比例，再经搅拌机混合拌匀，而两种研磨反应液相拌混合完成的研磨产物，于未结晶的固凝前时间内，送往研磨机研磨晶圆，而专用设备的晶圆研磨反应液取用比例就得倚赖晶圆研磨液混合定量筒为之。现有晶圆研磨液混合定量筒其做为标准计量的筒体下方开孔管接设有阀门控制开通的出料管，且筒顶设有氮气输入管及晶圆研磨原液输入管，借由出料管将晶圆研磨液混合定量筒内应定量取置的晶圆研磨原液下排到搅拌装置，并借由氮气输入管向筒内输入氮气，以避免筒内注留计量的晶圆研磨原液产生氧化反应变质，然而，晶圆研磨原液经晶圆研磨原液输入管注入到晶圆研磨液混合定量筒将快到额定量时，非常不容易在正刚好的瞬间时点就能控制晶圆研磨原液输入管完全封闭，使管内流量立即截停，仍会因些许的时间差，会有涓滴余流入晶圆研磨液混合定量筒，溢流出晶圆研磨液混合定量筒口造成浪费。
技术实现思路
本技术所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其充分回收利用溢出的晶圆研磨原液，更精确地回流开启控制，其加设的多个溢流传感器(例如两个)得以避免单一溢流传感器故障时，仍能借由另外的溢流传感器维持正常感应回送的晶圆研磨原液液流，保障生产作业进行。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，包括：一晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计取量后，供应后续的搅拌设备进行作业；一盛装杯，由晶圆研磨液混合定量筒内隔出，盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部，并于盛装杯临近与晶圆研磨液混合定量筒相连最下方位置开溢流孔；一溢流液暂存器，设于晶圆研磨液混合定量筒外适当处，为侧上端开设回收孔下端开设回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；一导管，该导管一端管接溢流孔另端管接回收孔；一导回管，该导回管一端管接回流孔另端往下通入晶圆研磨液混合定量筒底侧，及一开关阀，串设在导回管上适当位置。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该开关阀设在导回管上的设置设在导回管中段位置。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该开关阀设在导回管上的设置设在导回管应对高于研磨晶圆研磨液混合定量筒上方。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该晶圆研磨液混合定量筒顶盖适当位置开设灌入口，且该晶圆研磨液混合定量筒底开设晶圆研磨原液计量送出口，又在该晶圆研磨液混合定量筒内临近顶盖部位吊设定量挤排块，并将定量挤排块顶突出形成的中垂轴贯穿出顶盖，使定量挤排块偏离盛装杯，受中垂轴拉引垂直上下排开该筒内晶圆研磨原液到盛装杯内。本技术解决其技术问题还可采用如下技术方案：一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，包括：一晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计取量后，供应后续的搅拌设备进行作业；一盛装杯，由晶圆研磨液混合定量筒内隔出，盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部，并于盛装杯临近与晶圆研磨液混合定量筒相连最下方位置开溢流孔；一溢流液暂存器，设于晶圆研磨液混合定量筒外适当处，为侧上端开设回收孔下端开设回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；一导管，该导管一端管接溢流孔另端管接回收孔；一导回管，该导回管一端管接回流孔另端往下通入晶圆研磨液混合定量筒底侧；一开关阀，串设在导回管上适当位置，此开关阀为电磁引导开启的阀体；至少一溢流传感器，布设在导管上适当位置，及一控制电脑，该控制电脑连接溢流传感器的晶圆研磨原液溢流讯号，且控制电脑输出讯号接到开关阀对应接点。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该开关阀设在导回管上的设置设在导回管中段位置。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该开关阀设在导回管上的设置设在导回管应对高于研磨晶圆研磨液混合定量筒上方。所述晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其中，该晶圆研磨液混合定量筒顶盖适当位置开设灌入口，且该晶圆研磨液混合定量筒底开设晶圆研磨原液计量送出口，又在该晶圆研磨液混合定量筒内临近顶盖部位吊设定量挤排块，并将定量挤排块顶突出形成的中垂轴贯穿出顶盖，使定量挤排块偏离盛装杯，受中垂轴拉引垂直上下排开该筒内晶圆研磨原液到盛装杯内。本技术晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其主要由晶圆研磨液混合定量筒内隔出一盛装杯、一导管、一溢流液缓存器、一开关阀及一导回管所构成，其中该盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁部分相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部，使盛装杯汇集晶圆研磨液混合定量筒注入溢出的溢流晶圆研磨原液，又于盛装杯临近与晶圆研磨液混合定量筒相连最下方位置开设溢流孔套接导管通到溢流液缓存器顶开设的回收孔，而溢流液缓存器底开回流孔管接导回管通入晶圆研磨液混合定量筒底侧，而导回管上适当位置串接开关阀，借由控制开关阀开启使溢流液缓存器内的晶圆研磨原液在下一计量作业开始时，经导回管流补回晶圆研磨液混合定量筒，由此构成，充分回收利用溢出之晶圆研磨原液。又，本技术晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，又可再加设至少一溢流传感器，及一本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，包括：一晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计取量后，供应后续的搅拌设备进行作业；一盛装杯，由晶圆研磨液混合定量筒内隔出，盛装杯一部分与晶圆研磨液混合定量筒筒壁相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部，并于盛装杯临近与晶圆研磨液混合定量筒相连最下方位置开溢流孔；一溢流液暂存器，设于晶圆研磨液混合定量筒外，为侧上端开设回收孔下端开设回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；一导管，该导管一端管接溢流孔另端管接回收孔；一导回管，该导回管一端管接回流孔另端往下通入晶圆研磨液混合定量筒底侧，及一开关阀，串设在导回管上。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，包括：
一晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计取量后，供应后
续的搅拌设备进行作业；
一盛装杯，由晶圆研磨液混合定量筒内隔出，盛装杯一部分与晶圆
研磨液混合定量筒筒壁相连，且盛装杯上缘较晶圆研磨液混合定量筒内
顶缘低，而盛装杯底高于晶圆研磨液混合定量筒底部，并于盛装杯临近
与晶圆研磨液混合定量筒相连最下方位置开溢流孔；
一溢流液暂存器，设于晶圆研磨液混合定量筒外，为侧上端开设回
收孔下端开设回流孔，且最上端比溢流孔低的中空容器；
一导管，该导管一端管接溢流孔另端管接回收孔；
一导回管，该导回管一端管接回流孔另端往下通入晶圆研磨液混合
定量筒底侧，及一开关阀，串设在导回管上。
2.根据权利要求1所述的晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，
其特征在于，所述开关阀设在导回管上的设置设在导回管中段位置。
3.根据权利要求1所述的晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，
其特征在于，所述开关阀设在导回管上的设置设在导回管应对高于研磨
晶圆研磨液混合定量筒上方。
4.根据权利要求1所述的晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，
其特征在于，所述晶圆研磨液混合定量筒顶盖适当位置开设灌入口，且
该晶圆研磨液混合定量筒底开设晶圆研磨原液计量送出口，又在该晶圆
研磨液混合定量筒内临近顶盖部位吊设定量挤排块，并将定量挤排块顶
突出形成的中垂轴贯穿出顶盖，使定量挤排块偏离盛装杯，受中垂轴拉
引垂直上下排开该筒内晶圆研磨原液到盛装杯内。
5.一种晶圆研磨液混合定量筒的并旁回流装置，其特征在于，包括：
一晶圆研磨液混合定量筒，用于对晶圆研磨原液计...
【专利技术属性】
技术研发人员：黃怡文，曾義能，
申请(专利权)人：宸沅國際股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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