晶圆研磨液加速混搅结构制造技术

一种晶圆研磨液加速混搅结构，在研磨晶圆前阶段所设的研磨液混搅缸内，设有抽送泵及加速混搅分歧管，该研磨液混搅缸顶部盖封，只留从研磨反应液定量筒注入研磨反应液的注入管，研磨液混搅缸底伸出通往研磨机的研磨液出料管，抽送泵嵌入研磨液混搅缸内底中央下凹空间内埋平，于抽送泵顶竖接加速混搅分歧管，加速混搅分歧管由一竖直管临近顶管口两旁下斜伸出莲蓬喷头的中空管体，竖直管底管口套围抽送泵喷口，莲蓬喷头的喷出正面以一定散射组合斜角均等布设至少二个喷孔，将注入管伸到竖直管顶管口，直接在研磨液混搅缸内产生高速喷流导漩循环搅拌，提升动力搅拌速度扩大搅拌范围，减少缸边低流漩积聚产生研磨反应液结晶卡积的缺点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是一种晶圆研磨液加速混搅结构，直接在研磨液混搅缸产生高速喷流导漩循环搅拌作用，改进现有动力搅拌机制，因泵叶搅拌流速无法扩及到混搅缸缸边，避免缸边低流漩积聚产生研磨反应液结晶卡积的新颖技术。
技术介绍
芯片普遍使用在集成电路以及CPU中，从晶圆切割再加工而来，但是晶圆本身的形状及尺寸，也并非从原矿中一提炼出来，不须加工处理就能铸聚成预定的形状及大小，亦须对炼制成产能的每块标准直径晶圆，进行一块块切割研磨，才能形成个别集成电路以及CPU所需的芯片，而对晶圆的研磨也必须非常精细讲究，否则粗糙的磨制也会浪费很多晶圆材料，使芯片成本大增，也因此晶圆的研磨皆仰赖专用的研磨机为之。如图1为现有晶圆研磨液混合搅拌结构的示意图所示，这些研磨机50的前生产阶段，也都有其研磨反应液取用比例及混合搅拌的专用设备，将二种研磨反应液，一为水性研磨浆液(二氧化硅，业界英文通称SLURRY)另一为纯水，先由各自由对应的研磨反应液定量筒10额定取量，以最适当的比例，经注入管11，12再送往研磨液混搅缸20混搅拌匀，而两种研磨反应液相拌混合完成的晶圆研磨液，在理想控制状况下，应在混合反应未结晶的固凝前时间内，将混好的晶圆研磨液，完全送往研磨机50研磨晶圆。现有研磨液混搅缸20缸内底中央下凹空间内的动力搅拌机制，以叶片泵21为之，由于叶片泵21泵叶全在缸底中央，虽能向上逐渐外旋搅拌，但搅拌流速仍然无法扩及到研磨液混搅缸20缸边内壁，使缸边内壁只受到低流漩搅，若搅拌是一般水混合粉末，则缸边或许仅溶解度差慢些而已，但因该缸20内搅研磨反应液，是水性研磨浆液加纯水的待拌匀晶圆研磨液，水性研磨浆液(二氧化硅，业界英文通称SLURRY)与纯水相溶反应一段时间后，就有结晶硬化的特性，必须及时送出供应研磨之用，同样也必须在研磨液混搅缸20内，减少拌成晶圆研磨液当中，产生结晶的机会，然而现有叶片泵21泵旋到缸边的漩速不足，会因搅拌不及或变慢而造成沿着缸内壁不当地慢慢结晶凝固，由而，现有由叶片泵21搅拌的研磨液混合搅拌结构并不理想，在研磨液混搅缸20容易产生积聚结晶颗粒，影响流往研磨机50的研磨料品质。因而，本人乃积极研究改进之道，经过一番艰辛的苦思及试验过程，终于有本技术产生。
技术实现思路
本技术所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种晶圆研磨液加速混搅结构，其直接在研磨液混搅缸内产生高速喷流导漩循环搅拌，提升动力搅拌速度扩大搅拌范围，减少缸边低流漩积聚产生研磨反应液结晶卡积的缺点。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆研磨液加速混搅结构，不同于现有研磨晶圆前阶段所设研磨液混搅缸内设置由叶片泵搅拌的研磨液混合搅拌结构，其特征在于：于研磨晶圆前阶段所设的研磨液混搅缸内，设有抽送泵及加速混搅分歧管，该研磨液混搅缸顶伸入研磨反应液定量筒注入研磨反应液的注入管，且研磨液混搅缸内底中央下凹空间内嵌入抽送泵，此抽送泵设有流入口、抽送回流出口管及最终泵出管，并于抽送泵顶竖接加速混搅分歧管，此加速混搅分歧管由一竖直管临近顶管口两旁下斜伸出莲蓬喷头的中空管体，而莲蓬喷头的喷出正面以一定散射组合斜角均等布设至少二个喷孔，且竖直管底管口套围抽送泵顶部中央开设的流入口，并将抽送回流出口管接至加速混搅分歧管的顶管口，且最终泵出管接至研磨机。所述晶圆研磨液加速混搅结构，其中，该散射组合斜角的一散射斜角斜出喷出正面在30°～60°之间，且散射组合斜角的另一散射斜角为喷孔孔道斜出莲蓬喷头外缘水平切线30°～60°之间。所述晶圆研磨液加速混搅结构，其中，该竖直管于临近底管口的管口缘壁，透设数个回流孔。所述晶圆研磨液加速混搅结构，其中，该抽送泵为一具有磁浮转芯的泵体，且此抽送泵顶壳中央开设一流入孔，并围绕流入孔开设数只向上偏斜散开的挤喷孔道，又于其相对于磁浮转芯外围圈设一环回旋送出信道，再圈套一信道环座，并将此环回旋送出通道的送出口连接研磨液出料管，另在通道环座底固接外环布满散热片的动力机室。所述晶圆研磨液加速混搅结构，其中，这些喷孔喷出的研磨反应液供应压力值等于10psi。所述晶圆研磨液加速混搅结构，其中，这些喷孔喷出的研磨反应液供应压力值大于10psi。本技术的有益效果是，其直接在研磨液混搅缸内产生高速喷流导漩循环搅拌，提升动力搅拌速度扩大搅拌范围，减少缸边低流漩积聚产生研磨反应液结晶卡积的缺点。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1为现有晶圆研磨液混合搅拌结构的示意图。图2为本技术晶圆研磨液加速混搅结构的整体构成剖视图。图3为本技术晶圆研磨液加速混搅结构的加速混搅分歧管立体图。图4为本技术晶圆研磨液加速混搅结构的莲蓬喷头侧面局部放大图。图5为本技术晶圆研磨液加速混搅结构的莲蓬喷头喷面正视图。图6为本技术晶圆研磨液加速混搅结构的抽送泵俯视图。图7为图6所示的VII-VII剖线剖出的剖视图。图8为图6所示的VIII-VIII剖线剖出的剖视图。图9为本技术晶圆研磨液加速混搅结构的作用实施例图。图中标号说明：10 研磨反应液定量筒11，12 注入管20 研磨液混搅缸21 叶片泵22 研磨液出料管30 研磨反应液50 研磨机100 晶圆研磨液加速混搅结构110 研磨液混搅缸111 注入管112 最终泵出管113 下凹空间120 抽送泵120A 动力机室120B，120C，120D 散热片121 磁浮转芯122 流入孔122A 抽送回流出口管123，124，125，126 挤喷孔道127 回旋送出通道128 通道环座129 送出口130 加速混搅分歧管131 竖直管132 顶管口133 底管口133A，133B 回流孔134，135 莲蓬喷头134A，134B，134C 喷孔具体实施方式现有晶圆研磨液混合搅拌结构的构成及缺点已如前述，此处不再赘述。图2为本技术晶圆研磨液加速混搅结构的整体构成剖视图，由该图所示可知，本技术此种晶圆研磨液加速混搅结构100在研磨晶圆前阶段所设的研磨液混搅缸110内，设有抽送泵120及加速混搅分歧管130，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆研磨液加速混搅结构，不同于现有研磨晶圆前阶段所设研磨液混搅缸内设置由叶片泵搅拌的研磨液混合搅拌结构，其特征在于：于研磨晶圆前阶段所设的研磨液混搅缸内，设有抽送泵及加速混搅分歧管，该研磨液混搅缸顶伸入研磨反应液定量筒注入研磨反应液的注入管，且研磨液混搅缸内底中央下凹空间内嵌入抽送泵，此抽送泵设有流入口、抽送回流出口管及最终泵出管，并于抽送泵顶竖接加速混搅分歧管，此加速混搅分歧管由一竖直管临近顶管口两旁下斜伸出莲蓬喷头的中空管体，而莲蓬喷头的喷出正面以一定散射组合斜角均等布设至少二个喷孔，且竖直管底管口套围抽送泵顶部中央开设的流入口，并将抽送回流出口管接至加速混搅分歧管的顶管口，且最终泵出管接至研磨机。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆研磨液加速混搅结构，不同于现有研磨晶圆前阶段所设
研磨液混搅缸内设置由叶片泵搅拌的研磨液混合搅拌结构，其特征在于：
于研磨晶圆前阶段所设的研磨液混搅缸内，设有抽送泵及加速混搅分歧
管，该研磨液混搅缸顶伸入研磨反应液定量筒注入研磨反应液的注入管，
且研磨液混搅缸内底中央下凹空间内嵌入抽送泵，此抽送泵设有流入口、
抽送回流出口管及最终泵出管，并于抽送泵顶竖接加速混搅分歧管，此
加速混搅分歧管由一竖直管临近顶管口两旁下斜伸出莲蓬喷头的中空管
体，而莲蓬喷头的喷出正面以一定散射组合斜角均等布设至少二个喷孔，
且竖直管底管口套围抽送泵顶部中央开设的流入口，并将抽送回流出口
管接至加速混搅分歧管的顶管口，且最终泵出管接至研磨机。
2.根据权利要求1所述的晶圆研磨液加速混搅结构，其特征在于，所
述散射组合斜角的一散射斜角斜出喷出正面在30°～60°之间，且散射
组合斜角...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄怡文，曾義能，
申请(专利权)人：宸沅國際股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：