一种TiO2/SiO2-Ag-SiO2纳米复合薄膜的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种TiO2/SiO2-Ag-SiO2纳米复合薄膜的制备方法。该方法采用将Ag离子注入后在石英玻璃衬底中形成Ag纳米颗粒，然后利用直流反应磁控溅射在该二氧化硅衬底表面沉积TiO2薄膜，得到TiO2/SiO2-Ag-SiO2复合薄膜。本发明专利技术所制备的Ag纳米颗粒镶嵌在石英玻璃中很好的克服了Ag纳米颗粒被氧化的问题。本办法所制得纳米复合结构可大幅度提高二氧化钛对紫外光部分的吸收，从而提高其光催化效率，能广泛应用于光电子领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种Ti02/Si02-Ag-Si02纳米复合薄膜的制备方法,属于光电子材料

技术介绍
环境和能源问题是现今最受关注的两大世界性难题，人们一直在寻求解决它们的办法。1972年Fujishima和Honda发表在Nature上的研究论文率先报导了 TiO2单晶电极与Pt电极组成光电化学电池光分解水产氢的现象，引发了国内外对利用太阳光直接分解水制氢的研究热潮，从而开创了非均相光催化研究的新纪元。在太阳光的照射下，由于紫外光部分的激发，二氧化钛价带电子就会被激发到导带，相应的在价带上留下空穴。当二氧化钛催化剂遇见合适的俘获剂如表面缺陷或者其它因素时，价带空穴就会作为氧化剂，导带电子作为还原剂，在二氧化钛的表面发生氧化还原反应。TiO2将光能转化为化学反应产生催化作用，使周围的氧气及水分子被激发成为具有强氧化能力的02_及OH—负离子。它们·几乎可以分解所有对人体和环境无害的物质。这就是二氧化钛起到光催化作用的基本原理。正是由于二氧化钛的光催化作用的特点，它可以广泛用于污水处理和空气净化，不造成资源浪费和产生二次污染，还可以循环利用。这种强氧化还可以用于杀菌消毒、卫本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种？TiO2/SiO2？Ag？？SiO2纳米复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1）以石英玻璃为衬底，将能量为20到60？kV？剂量为5×1016？到1×1017？ions/cm2？？Ag离子注入到衬底中，使其在衬底中形成Ag纳米颗粒；2）利用直流反应磁控溅射在已形成Ag纳米颗粒的石英玻璃衬底表面沉积厚度不超过100？nm的TiO2薄膜，并在氧气气氛下400～500？oC？保温退火，得到锐钛矿相TiO2薄膜，从而得到TiO2/SiO2？Ag？SiO2复合薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种Ti02/Si02-Ag- SiO2纳米复合薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤 1)以石英玻璃为衬底，将能量为20到60kV剂量为5X IO16到IXlO17 ions/cm2 Ag离子注入到衬底中，使其在衬底中形成Ag纳米颗粒； 2)利用直流反应磁控溅射在已形成Ag纳米颗粒的石英玻璃衬底表面沉积厚度不超过10...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐进霞，梅菲，
申请(专利权)人：湖北工业大学，
类型：发明
国别省市：