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一种TiO2/SiO2-Ag-SiO2纳米复合薄膜的制备方法技术
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下载一种TiO2/SiO2-Ag-SiO2纳米复合薄膜的制备方法的技术资料
文档序号:8294514
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本发明提供了一种TiO2/SiO2-Ag-SiO2纳米复合薄膜的制备方法。该方法采用将Ag离子注入后在石英玻璃衬底中形成Ag纳米颗粒,然后利用直流反应磁控溅射在该二氧化硅衬底表面沉积TiO2薄膜,得到TiO2/SiO2-Ag-SiO2复合薄...
该专利属于湖北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖北工业大学授权不得商用。
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