下载一种TiO2/SiO2-Ag-SiO2纳米复合薄膜的制备方法的技术资料

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本发明提供了一种TiO2/SiO2-Ag-SiO2纳米复合薄膜的制备方法。该方法采用将Ag离子注入后在石英玻璃衬底中形成Ag纳米颗粒,然后利用直流反应磁控溅射在该二氧化硅衬底表面沉积TiO2薄膜,得到TiO2/SiO2-Ag-SiO2复合薄...
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