一种基板输送装置及显影机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基板输送装置及显影机，用以解决基板在通过显影与冲洗区的传送装置时，彩色滤光片膜各层的线宽均匀性较差的问题。所述装置包括：输送带及驱动装置，所述驱动装置驱动输送带运送基板，所述输送带包括：用于输送所述基板的第一输送部；与所述第一输送部的一端连接第二输送部；所述输送装置还包括：角度控制装置，所述角度控制装置与所述第一输送部及所述第二输送部连接，所述角度控制装置使所述第一输送部与水平面在第一设定方向上成设定角度；并且所述角度控制装置使所述第二输送部与水平面在第二设定方向上成所述设定角度，所述第一设定方向与所述第二设定方向反向。本实用新型专利技术可以改善了彩色滤光片膜各层的线宽均匀性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液晶显示器制造
，尤其涉及一种基板输送装置及显影机。
技术介绍
通常，在平面显示装置的制造工序中，在玻璃基板上形成电路图形的过程，可包括清洗基板的工序、在己清洗的基板表面涂敷感光性树脂而形成感光膜的工序、通过预定图案曝光所述感光膜而进行显影(developing)的工序。这种显示器的制造工序中，显影工序利用现有的显影液供给装置来对基板涂敷显影液。这种显影工序，可采用向盛有显影液的腔室通过基板的方式或者采用喷射装置向基板喷射显影液的方式进行。而这种显影装置，包括用于向腔室供给显影液的显影液供给装置和用于输送基板的输送装置。·其中现有的基板输送装置一般采用一侧倾斜的结构，如图I所示，包括第一输送部11、具有倾斜角度a的第二输送部12，图中的第一输送部在开始工作时为水平状态，当将基板输送到第二输送部12上时,有与之连接的驱动装置驱动第一输送部倾斜一角度a与第二输送部12的倾斜角度相匹配。对于高世代基板的彩色虑光片膜的制程中，基板在显影机中始终保持倾斜角度输送，用以提高显影液在基板表面的流动性，但是由于输送装置的倾斜始终为一个方向，因此造成了彩色滤光片膜各层的线宽均匀性较差问题的产生。如图2及图3所示，为现有技术中高世代基板某层线宽的均匀性概况，图中圆圈直径代表此区域线宽的大小，图3中，R1 R9为每个区域线宽的平均值。很明显的可以看出，彩色滤光片膜各层的线宽均匀性较差，Rl的线宽小于R9的线宽平均值。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述问题，本技术提供一种基板输送装置及显影机，解决了基板在通过显影与冲洗区的传送装置时，由于显影液在基板上流动，而使彩色滤光片膜各层的线宽均匀性较差的问题。为实现解决上述问题，本技术一方面提供了一种基板输送装置，应用于显影装置中，包括输送带及驱动装置，所述驱动装置驱动输送带运送基板，所述输送带包括用于输送所述基板的第一输送部；与所述第一输送部的一端连接第二输送部；所述输送装置还包括角度控制装置，所述角度控制装置与所述第一输送部及所述第二输送部连接，所述角度控制装置使所述第一输送部与水平面在第一设定方向上成第一设定角度；并且所述角度控制装置使所述第二输送部与水平面在第二设定方向上成第二设定角度，所述第一设定方向与所述第二设定方向反向。优选的，所示第一块输送部的前端设有一过渡部，所述第二块输送部的末端也设有一过渡部。优选的，所述输送带还包括第三输送部，设置在所述第一输送部及所述第二输送部之间，通过调节所述第三输送部的倾斜角度，使所述基板由所述第一输送部传输到所述第二输送部。优选的，所述第三输送部与所述角度控制装置相连接。优选的，所述第三输送部上设有位置传感器，当所述位置传感器检测到所述基板到达所述第三输送部上时，由所述角度控制装置调节所述第三输送部的倾斜角度与所述第一输送部的倾斜角度相匹配，并当所述基板过渡到所述第三输送部上时，进一步调节所述第三输送部的倾斜角度与所述第二输送部的倾斜角度相匹配。 优选的,所述设定角度的大小为0° "10°。优选的，所述第一设定方向为与所述基板传输的方向垂直的方向。优选的，所述第三传送部上设有提供向上倾斜或向下倾斜的连接部件。优选的，所述驱动装置具体为自由电动机、气缸及步进电动机中的一个或组合。本技术实施例另一方面还提供了一种显影机，包括所述的基板输送装置。本技术实施例与现有技术相比具有以下优点采用本技术实施例提供的基板输送装置及显影机，通过驱动装置驱动输送带运送基板，其中输送带包括用于输送基板的第一输送部，与所述第一输送部的一端连接第二输送部；所述第一输送部以及第二输送部均与一角度控制装置连接，该角度控制装置可以使所述第一输送部与水平面在第一设定方向上成第一设定角度；并且所述角度控制装置使所述第二输送部与水平面在第二设定方向上成第二设定角度，所述第一设定方向与所述第二设定方向反向。通过将输送带设计成可以向上倾斜及向下倾斜一设定角度的各输送部，使显影液在基板上的流动方向可以进行调节，不致于只向一侧流动，而导致彩色滤光片膜的线宽均匀性较差的现象，防止了显影液在基板表面的堆积。附图说明图I为现有技术中显影机基板输送装置结构示意图；图2为现有技术中高世代基板CF某层线宽均匀性表示图；图3为对应图2的曲线图；图4为本技术具体实施例一基板输送装置结构示意图；图5为本技术具体实施例二基板输送装置结构示意图；图6为本技术输送基板CF某层线宽均匀性表示图；图7为对应图6的曲线图。具体实施方式本技术提供一种基板输送装置及显影机，解决了基板在通过显影与冲洗区的传送装置时，由于显影液在基板上流动，而使彩色滤光片膜各层的线宽均匀性较差的问题。结合具体实施例与说明书附图对本技术的技术方案进行详细的描述如图4所示，为本技术实施例一基板输送装置的结构示意图，应用于显影装置中，基板输送装置有驱动装置与输送带构成，所述驱动装置具体为自由电动机、气缸及步进电动机中的一个或组合。其中输送带包括用于输送所述基板的第一输送部41 ;与第一输送部41的一端连接第二输送部42 ;第二输送部42与第一输送部41的位置可以互换，但是一般情况下采用相同数量的第二输送部42与第一输送部41，用以控制显影液的流动。该基板输送装置还包括角度控制装置，所述角度控制装置与第一输送部41及第二输送部42相连接，所述角度控制装置使第一输送部41与水平面在第一设定方向上成设定角度；其中设定方向为向下或向上，即第一输送部向上倾斜一设定角度或向下倾斜一设定角度，对应的，将与之连接的第二输送部的倾斜向下或向上一设定角度，也就是所述第一设定方向与第二设定方向反向设置。所成的设定角度一般为大于O度而小于10度，较优的，一般设定角度米用4 6度。在开始输送基板时，第一块输送部的前端设有一过渡部43,将基板输送到第 一输送部41的过程中，也需通过角度控制装置调节倾斜角度，与第一输送部41倾斜的设定角度a相匹配，从而使基板由过渡部43输送到第一输送部41上。当基板输送到第二输送部42的末端时,在第二输送部42的末端也设有一过渡部43，基板由第二输送部42输送到过渡部43上时，过渡部43通过角度控制装置调节倾斜角度，与第二输送部42倾斜的设定角度a相匹配，从而使基板由第二输送部42输送到过渡部43上。当然本技术也不局限于就只有一个第一输送部与第二输送部，可以是多个输送部的交替组合，因此将过渡部设置于整个输送带的前端与末端。如图5所示，为本技术实施例二的结构示意图，基板输送装置除图4中包括的第一输送部41、第二输送部42及过渡部43,所述输送带还包括第三输送部44,设置在第一输送部41及第二输送部42之间，通过调节第三输送部44的倾斜角度，使所述基板由所述第一输送部41传输到所述第二输送部42。第三输送部44与所述角度控制装置相连接，并由所述角度控制装置控制调整其倾斜角度，在第三输送部44上设有位置传感器，当所述位置传感器检测到所述基板到达第三输送部44上时，由所述角度控制装置调节第三输送部44的倾斜角度与第一输送部41的倾斜角度相匹配，并当所述基板过渡到第三输送部44上时，并向第二输送部42输送时，进一步调节第三输送部44的倾斜角度与第二输送部4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板输送装置，应用于显影装置中，包括：输送带及驱动装置，所述驱动装置驱动输送带运送基板，其特征在于，所述输送带包括：用于输送所述基板的第一输送部；与所述第一输送部的一端连接第二输送部；所述输送装置还包括：角度控制装置，所述角度控制装置与所述第一输送部及所述第二输送部连接，所述角度控制装置使所述第一输送部与水平面在第一设定方向上成设定角度；并且所述角度控制装置使所述第二输送部与水平面在第二设定方向上成所述设定角度，所述第一设定方向与所述第二设定方向反向。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：汪栋，吴洪江，魏崇喜，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：