【技术实现步骤摘要】
本技术涉及液晶显示器制造
,尤其涉及一种基板输送装置及显影机。
技术介绍
通常,在平面显示装置的制造工序中,在玻璃基板上形成电路图形的过程,可包括清洗基板的工序、在己清洗的基板表面涂敷感光性树脂而形成感光膜的工序、通过预定图案曝光所述感光膜而进行显影(developing)的工序。这种显示器的制造工序中,显影工序利用现有的显影液供给装置来对基板涂敷显影液。这种显影工序,可采用向盛有显影液的腔室通过基板的方式或者采用喷射装置向基板喷射显影液的方式进行。而这种显影装置,包括用于向腔室供给显影液的显影液供给装置和用于输送基板的输送装置。·其中现有的基板输送装置一般采用一侧倾斜的结构,如图I所示,包括第一输送部11、具有倾斜角度a的第二输送部12,图中的第一输送部在开始工作时为水平状态,当将基板输送到第二输送部12上时,有与之连接的驱动装置驱动第一输送部倾斜一角度a与第二输送部12的倾斜角度相匹配。对于高世代基板的彩色虑光片膜的制程中,基板在显影机中始终保持倾斜角度输送,用以提高显影液在基板表面的流动性,但是由于输送装置的倾斜始终为一个方向,因此造成了彩色滤光片膜 ...
【技术保护点】
一种基板输送装置,应用于显影装置中,包括:输送带及驱动装置,所述驱动装置驱动输送带运送基板,其特征在于,所述输送带包括:用于输送所述基板的第一输送部;与所述第一输送部的一端连接第二输送部;所述输送装置还包括:角度控制装置,所述角度控制装置与所述第一输送部及所述第二输送部连接,所述角度控制装置使所述第一输送部与水平面在第一设定方向上成设定角度;并且所述角度控制装置使所述第二输送部与水平面在第二设定方向上成所述设定角度,所述第一设定方向与所述第二设定方向反向。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:汪栋,吴洪江,魏崇喜,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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