一种新型防掉落舟托制造技术

技术编号:8290227 阅读:159 留言:0更新日期:2013-02-01 03:36
本实用新型专利技术涉及一种新型防掉落舟托,它包括矩形舟托底面,在所述矩形舟托底面上部设有四根连接柱,在所述连接柱上设有弧形舟托使用面,在所述弧形舟托使用面两端设有开口的挡板。本实用新型专利技术结构简单,防掉落。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种安放装置,具体涉及一种舟托。
技术介绍
现在,在半导体芯片(主要是石英芯片)的生产过程中,扩散工序需要用到石英舟或碳化硅舟进、出炉的工装夹具,一般石英舟或碳化硅舟的存放处为石英管或碳化硅管或操作箱内,在石英舟或碳化硅舟的传递过程中所用的舟托的材质为不锈钢,这样的话会导致在石英舟或碳化硅舟传递过程中造成石英舟或碳化硅舟金属离子的沾污,从而导致系统的沾污,影响制作产品的电参数,还存在不易拿取的问题。市场上的一些石英舟托的使用面也是矩形面,所以在使用过程中,会产生掉落现象,从而影响产品质量。
技术实现思路
专利技术目的本技术的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种结构简单,防掉落的新型舟托。技术方案为了解决上述技术问题,本技术所述的一种新型防掉落舟托,它包括矩形舟托底面,在所述矩形舟托底面上部设有四根连接柱,在所述连接柱上设有弧形舟托使用面,在所述弧形舟托使用面两端设有开口的挡板。所述矩形舟托底面、连接柱、弧形舟托使用面和挡板都是采用石英材质。有益效果本技术与现有技术相比,其显著优点是本技术舟托结构设计合理,实用性强,可防掉落,所运用的材质均为石英,便于清洗,可以最大程度的减本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型防掉落舟托,其特征在于:它包括矩形舟托底面(1),在所述矩形舟托底面(1)上部设有四根连接柱(2),在所述连接柱(2)上设有弧形舟托使用面(3),在所述弧形舟托使用面(3)两端设有开口的挡板(4)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:孙东芹
申请(专利权)人:太仓子午电气有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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