一种立式炉装片载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种立式炉装片载具，包括环形上盖、环形底板、四根垂直立柱，所述垂直立柱的顶端连接环形上盖，底端连接环形底板，所述垂直立柱内侧设有硅片槽，第一垂直立柱、第三垂直立柱相对于载具中心对称设置，第二垂直立柱、第四垂直立柱相对于载具中心对称设置；其中，所述第一垂直立柱与载具中心的连线与第三垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为180°～190°，第二垂直立柱与载具中心的连线与第四垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为30°～150°。本实用新型专利技术的立式炉装片载具使装片载具能手动取出/放入立式炉，能杜绝现有立式炉自动传送载具在减薄硅片过程中发生的撞片现象。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种立式炉(立式氧化炉)装片载具。
技术介绍
立式炉原厂设计为通过机械手自动传送硅片至载具，将硅片水平放置在载具的槽里，在进行工艺处理后再自动将硅片取出。而对于某些特殊工艺的硅片，由于硅片减薄至一定厚度，硅片水平放置在载具上会出现下垂现象，机械手取出硅片时与硅片水平间隙很小甚至平行，继而在传送过程中易发生撞片现象。使得减薄硅片无法在立式炉进行传送，甚至造成立式炉停产；并且，立式炉原厂设计的自动传送载具无法通过手动方式取出/放入立式炉中，造成生产中的不便。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种立式炉装片载具使装片载具能手动取出/放入立式炉，能杜绝现有立式炉自动传送载具在减薄硅片过程中发生的撞片现象。为解决上述技术问题，本技术的立式炉手动装片载具，包括环形上盖、环形底板、四根垂直立柱，所述垂直立柱的顶端连接环形上盖，底端连接环形底板，所述垂直立柱内侧设有硅片槽，第一垂直立柱、第三垂直立柱相对于载具中心对称设置，第二垂直立柱、第四垂直立柱相对于载具中心对称设置；其中，所述第一垂直立柱与载具中心的连线与第三垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为180° 190°第二垂直立柱与载具中心的连线与第四垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为30° 150°。所述环形上盖上具有二手柄。所述载具由石英制造。所述载具高度是200mm 450mm。所述第二垂直立柱、第四垂直立柱的直径大于第一垂直立柱、第三垂直立柱的直径。所述第一垂直立柱和第二垂直立柱之间具有加强肋，第三垂直立柱和第四垂直立柱之间具有加强肋。本技术通过手动装片的方式在载具水平放置在载台时将硅片垂直装入的载具，在硅片放置完成后，通过手持把手提起载具至竖直状态；放入设备，进行工艺处理；处理完成后，提起把手将载具竖直从设备中取出，而后在载具水平状态下将硅片手动取出。本技术的立式炉手动装片载具使装片载具能手动取出/放入立式炉，能杜绝现有立式炉自动传送载具在减薄硅片过程中发生的撞片现象。以下结合附图与具体实施方式对本技术作进一步详细的说明图I是本技术第一实施例的侧视图，其显示单批次型载具(25硅片以内)。图2是图I另一角度的侧视图。图3是沿图I中线段A-A的剖视图。图4是本技术第二实施例的侧视图，其显示多批次型载具(25硅片以上)。图5是图3另一角度的侧视图。附图标记说明I是第一垂直立柱 2是第二垂直立柱3是第二垂直立柱4是第四垂直立柱5是环形上盖6是环形底板7是手柄8是硅片槽9是加强肋A-A 是线段。具体实施方式如图I、图2所示，本技术第一实施例提供一种单批次型立式炉手动装片载具(25硅片以内)，包括环形上盖5、环形底板6、四根垂直立柱，所述垂直立柱的顶端连接环形上盖5，底端连接环形底板6，所述垂直立柱内侧设有硅片槽9，第一垂直立柱I、第三垂直立柱3相对于载具中心对称设置，第二垂直立柱2、第四垂直立柱4相对于载具中心对称设置；其中，所述第一垂直立柱I与载具中心的连线与第三垂直立柱3与载具中心连线之间的夹角为180° 190°，第二垂直立柱2与载具中心的连线与第四垂直立柱4与载具中心连线之间的夹角为30° 150° ;环形上盖5上具有二手柄7;本载具由石英制造；单批次型立式炉手动装片载具高度是200mm ;第二垂直立柱2、第四垂直立柱4的直径大于第一垂直立柱I、第三垂直立柱3的直径。如图3所示，第一垂直立柱I与载具中心的连线与第三垂直立柱3与载具中心连线之间的夹角为180°，第二垂直立柱2与载具中心的连线与第四垂直立柱4与载具中心连线之间的夹角为90°，此角度配置最佳但不以此角度配置为限。如图4、图5所示，本技术第二实施例提供一种多批次型立式炉手动装片载具(25硅片以上)，包括环形上盖5、环形底板6、四根垂直立柱，所述垂直立柱的顶端连接环形上盖5，底端连接环形底板6，所述垂直立柱内侧设有硅片槽9，第一垂直立柱I、第三垂直立柱3相对于载具中心对称设置，第二垂直立柱2、第四垂直立柱4相对于载具中心对称设置；其中，所述第一垂直立柱I与载具中心的连线与第三垂直立柱3与载具中心连线之间的夹角为180° 190°，第二垂直立柱2与载具中心的连线与第四垂直立柱4与载具中心连线之间的夹角为30° 150° ;环形上盖5上具有二手柄7;本载具由石英制造；多批次型立式炉手动装片载具高度是450mm ;第二垂直立柱2、第四垂直立柱4的直径大于第一垂直立柱I、第三垂直立柱3的直径；第一垂直立柱I和第二垂直立柱2之间具有加强肋8，第三垂直立柱3和第四垂直立柱4之间具有加强肋8。以上通过具体实施方式和实施例对本技术进行了详细的说明， 但这些并非构成对本技术的限制。在不脱离本技术原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本技术的保护范围。权利要求1.一种立式炉装片载具，包括环形上盖、环形底板、四根垂直立柱，所述垂直立柱的顶端连接环形上盖，底端连接环形底板，所述垂直立柱内侧设有硅片槽，第一垂直立柱、第三垂直立柱相对于载具中心对称设置，第二垂直立柱、第四垂直立柱相对于载具中心对称设置；其特征是所述第一垂直立柱与载具中心的连线与第三垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为180° 190°，第二垂直立柱与载具中心的连线与第四垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为30° 150°。2.如权利要求I所述的立式炉装片载具，其特征是所述环形上盖上具有二手柄。3.如权利要求I所述的立式炉装片载具，其特征是所述载具由石英制造。4.如权利要求I所述的立式炉装片载具，其特征是所述载具高度是200mm 450mm。5.如权利要求I至4任意一项所述的立式炉装片载具，其特征是第二垂直立柱、第四垂直立柱的直径大于第一垂直立柱、第三垂直立柱的直径。6.如权利要求5所述的立式炉装片载具，其特征是第一垂直立柱和第二垂直立柱之间具有加强肋，第三垂直立柱和第四垂直立柱之间具有加强肋。专利摘要本技术公开了一种立式炉装片载具，包括环形上盖、环形底板、四根垂直立柱，所述垂直立柱的顶端连接环形上盖，底端连接环形底板，所述垂直立柱内侧设有硅片槽，第一垂直立柱、第三垂直立柱相对于载具中心对称设置，第二垂直立柱、第四垂直立柱相对于载具中心对称设置；其中，所述第一垂直立柱与载具中心的连线与第三垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为180°～190°，第二垂直立柱与载具中心的连线与第四垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为30°～150°。本技术的立式炉装片载具使装片载具能手动取出/放入立式炉，能杜绝现有立式炉自动传送载具在减薄硅片过程中发生的撞片现象。文档编号H01L21/677GK202678299SQ20122028789公开日2013年1月16日 申请日期2012年6月18日 优先权日2012年6月18日专利技术者钱敏, 刘立成, 刘波 申请人:上海华虹Nec电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种立式炉装片载具，包括环形上盖、环形底板、四根垂直立柱，所述垂直立柱的顶端连接环形上盖，底端连接环形底板，所述垂直立柱内侧设有硅片槽，第一垂直立柱、第三垂直立柱相对于载具中心对称设置，第二垂直立柱、第四垂直立柱相对于载具中心对称设置；其特征是：所述第一垂直立柱与载具中心的连线与第三垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为180°～190°，第二垂直立柱与载具中心的连线与第四垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为30°～150°。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钱敏，刘立成，刘波，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：