【技术实现步骤摘要】
本技术涉及集成电路制造领域，特别是涉及一种立式炉(立式氧化炉)装片载具。
技术介绍
立式炉原厂设计为通过机械手自动传送硅片至载具，将硅片水平放置在载具的槽里，在进行工艺处理后再自动将硅片取出。而对于某些特殊工艺的硅片，由于硅片减薄至一定厚度，硅片水平放置在载具上会出现下垂现象，机械手取出硅片时与硅片水平间隙很小甚至平行，继而在传送过程中易发生撞片现象。使得减薄硅片无法在立式炉进行传送，甚至造成立式炉停产；并且，立式炉原厂设计的自动传送载具无法通过手动方式取出/放入立式炉中，造成生产中的不便。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种立式炉装片载具使装片载具能手动取出/放入立式炉，能杜绝现有立式炉自动传送载具在减薄硅片过程中发生的撞片现象。为解决上述技术问题，本技术的立式炉手动装片载具，包括环形上盖、环形底板、四根垂直立柱，所述垂直立柱的顶端连接环形上盖，底端连接环形底板，所述垂直立柱内侧设有硅片槽，第一垂直立柱、第三垂直立柱相对于载具中心对称设置，第二垂直立柱、第四垂直立柱相对于载具中心对称设置；其中，所述第一垂直立柱与载具中心的连线与第三垂直立柱与载具中心连线之...
【技术保护点】
一种立式炉装片载具，包括环形上盖、环形底板、四根垂直立柱，所述垂直立柱的顶端连接环形上盖，底端连接环形底板，所述垂直立柱内侧设有硅片槽，第一垂直立柱、第三垂直立柱相对于载具中心对称设置，第二垂直立柱、第四垂直立柱相对于载具中心对称设置；其特征是：所述第一垂直立柱与载具中心的连线与第三垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为180°～190°，第二垂直立柱与载具中心的连线与第四垂直立柱与载具中心连线之间的夹角为30°～150°。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钱敏，刘立成，刘波，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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