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本实用新型公开了一种立式炉装片载具，包括环形上盖、环形底板、四根垂直立柱，所述垂直立柱的顶端连接环形上盖，底端连接环形底板，所述垂直立柱内侧设有硅片槽，第一垂直立柱、第三垂直立柱相对于载具中心对称设置，第二垂直立柱、第四垂直立柱相对于载具中...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

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