下载一种基板输送装置及显影机的技术资料

文档序号:8290231

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本实用新型公开了一种基板输送装置及显影机,用以解决基板在通过显影与冲洗区的传送装置时,彩色滤光片膜各层的线宽均匀性较差的问题。所述装置包括:输送带及驱动装置,所述驱动装置驱动输送带运送基板,所述输送带包括:用于输送所述基板的第一输送部;与所...
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