一种石墨烯的连续生产装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的石墨烯的连续生产装置包括卧式反应腔，在卧式反应腔内置有若干根石英反应管，每根石英反应管的底部有耐热钢或耐热合金衬垫，并通过耐火砖架固定在卧式反应腔内，在每根石英反应管的管腔内均设有多个沿轴向排列的平滑内表面的石英舟或内表面均布有轴向槽的石英舟，碳源储罐、还原气体储罐和惰性气体储罐分别通过质量流量控制器经气体混合器与石英反应管连通，石英反应管的废气排出口与废气回收处理器相连，在卧式反应腔外设有加热装置和温控柜。本实用新型专利技术结构简单，反应面积大，不仅可以大幅度地提高石墨烯的产量，而且可以降低生产成本和节省能耗，生产时沿轴向排列的石英舟依次进入高温区，可实现石墨烯的连续生产。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种石墨烯的连续生产装置，特别是涉及一种以化学气相沉积(CVD)法制备石墨烯的连续生产装置。
技术介绍
石墨烯(Graphene)是一种由碳原子以Sp2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的平面薄膜，只有一个碳原子厚度的二维材料。石墨烯一直被认为是假设性的结构，无法单独稳定存在，直至2004年英国曼彻斯特大学两位物理学家Andre Geim和Konstantin Novoselov成功的在实验中从石墨中分离出石墨烯，证实了它可以单独存在，两人也因此共同获得2010年诺贝尔物理学奖。石墨烯之所以如此令人关注是因为其在力学、热学、电学、光学等方面具有优异的性能，被认为在单分子探测器、集成电路、场效应晶体管等量子器件、功能 性复合材料、新能源、催化剂载体和生物医学等诸多领域具有极其广阔的应用前景。目前，石墨烯的主要制备方法有机械剥离法、氧化还原法、化学气相沉积(CVD)法等方法。但机械法剥离工艺复杂，成本高且耗时长，明显不能满足工业化要求；氧化还原法虽然能制备出大量的石墨烯，但在石墨烯制备过程中的阶段产物晶体学特性和规律没有引起学者的重视，从而影响到其应用的范围；CVD方法制备石墨烯简本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨烯的连续生产装置，其特征是包括卧式反应腔(16)，在卧式反应腔(16)内置有若干根石英反应管（1），每根石英反应管的底部有耐热钢或耐热合金衬垫(17)，并通过耐火砖架(3)固定在卧式反应腔(16)内，在每根石英反应管的管腔内均设有多个沿轴向排列的石英舟，所说的石英舟为具有平滑内表面的石英舟（4）或为内表面均布有轴向槽的石英舟（5），碳源储罐(8)、还原气体储罐(9)和惰性气体储罐(10)分别通过碳源质量流量控制器(11)、还原气体质量流量控制器(12)和惰性气体质量流量控制器(13)与气体混合器（14）的一端相连，气体混合器（14）的另一端与石英反应管连通，石英反应管的废气排出口与废气...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄德欢，杨欢，
申请(专利权)人：吴江市华诚电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：