The invention discloses a device capable of multi position rapid elongation of graphene graphene growth make full use of equipment, including the installation of fixed platform, vacuum pump, gas pipelines, heating devices, graphene growth process chamber; the graphene growth process chamber has sealed flange, vacuum pumping, the air inlet; vacuum port is communicated with the vacuum pump; the air inlet and the gas pipeline is communicated; the graphene growth process chamber has at least two; the graphene growth process chamber is installed on the fixed platform; the graphene growth process cavity has a process chamber outer tube, the heating device is arranged outside the process chamber the outer tube; the fixed platform is provided with a heating device from a process chamber outer tube lateral move to another process outside of the cavity outside the tube heating device for mobile device. The multi station graphene rapid elongation equipment can reduce waste of resources and increase production efficiency.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种石墨烯的生长设备,尤其是一种多工位石墨烯快速生长设备。
技术介绍
众所周知的:石墨烯虽然只有一个碳原子层厚,但由于其自身结构特性使其表现出诸多世界之最,如最薄、最轻、最坚韧、电阻率最小等,石墨烯被称为材料界的“黑金”,21世纪“新材料之王”。石墨烯薄膜的规模化制备,经过近几年的广泛研究,化学气相沉积法是规模化制备石墨烯薄膜最有前景的方法之一。CVD法制备高质量的石墨烯薄膜是在1000度左右的真空条件下将碳源加热分解成活性碳基团,然后Cu、Ni等过渡金属衬底上进一步分解生成石墨烯。然而,快速、连续规模化制备大面积、高质量石墨烯薄膜的方法一直没有取得大的突破,极大地限制了石墨烯制备效率和产量,阻碍了石墨烯薄膜产业快速发展的步伐。众所周知,CVD法制备石墨烯薄膜的流程为:将石墨烯生长基底放入工艺腔后,先将设备升温至1000度左右的高温,然后将石墨烯生长基底在此高温下退火一定时间,紧接着通入石墨烯生长工艺气体制备石墨烯,待石墨烯生长结束后,需要将石墨烯产品移除高温工艺腔快速降温,待炉体降至室温时取出石墨烯产品。在石墨烯降温、取样过程中,如果将炉体也一起降温,则下次生长时重复升温、降温过程,则工作效率极低一天只能制备2-3次;如果将石墨烯产品移除高温工艺腔,样品降温的过程中,炉体保持高温不变,则待样品降温后、取换样再次推进高温腔后,则可直接进入退火生长环节,极大的提高了石墨烯生产效率。但在石墨烯产品降温、取换样过程中,高温炉体一直处于闲置状态,造成资源浪费。虽然之前有专利考虑到该问题,采用高温工艺腔两端进取样的方式提高高温炉体的利用率,但该方案拓 ...
【技术保护点】
多工位石墨烯快速生长设备,包括安装固定平台(1)、真空泵(3)、气体输送管道(4)、加热装置(5)、石墨烯生长工艺腔(2);所述石墨烯生长工艺腔(2)具有密封法兰(22)、抽真空口(23)、进气口(24);所述抽真空口(23)与真空泵(3)连通;所述进气口(24)与气体输送管道(4)连通;其特征在于:所述石墨烯生长工艺腔(2)至少具有两个;所述石墨烯生长工艺腔(2)安装在固定平台(1)上;所述石墨烯生长工艺腔(2)具有工艺腔外管(21),所述加热装置(5)设置在工艺腔外管(21)的外侧;所述安装固定平台(1)上设置有将加热装置(5)从一个工艺腔外管(21)外侧移动到另一个工艺腔外管(21)外侧的加热装置移动装置(6)。
【技术特征摘要】
1.多工位石墨烯快速生长设备,包括安装固定平台(1)、真空泵(3)、气体输送管道(4)、加热装置(5)、石墨烯生长工艺腔(2);所述石墨烯生长工艺腔(2)具有密封法兰(22)、抽真空口(23)、进气口(24);所述抽真空口(23)与真空泵(3)连通;所述进气口(24)与气体输送管道(4)连通;其特征在于:所述石墨烯生长工艺腔(2)至少具有两个;所述石墨烯生长工艺腔(2)安装在固定平台(1)上;所述石墨烯生长工艺腔(2)具有工艺腔外管(21),所述加热装置(5)设置在工艺腔外管(21)的外侧;所述安装固定平台(1)上设置有将加热装置(5)从一个工艺腔外管(21)外侧移动到另一个工艺腔外管(21)外侧的加热装置移动装置(6)。2.如权利要求1所述的多工位石墨烯快速生长设备,其特征在于:所述石墨烯生长工艺腔(2)在安装固定平台(1)上沿圆周均匀分布。3.如权利要求2所述的多工位石墨烯快速生长设备,其特征在于:所述石墨烯生长工艺腔(2)竖向安装在安装固定平台(1)上;所述加热装置(5)为加热罩,所述加热装置(5)套装在工艺腔外管(21)上;所述加热装置移动装置(6)包括旋转底座(62)以及伸缩装置(61);所述旋转底座(62)固定安装在安装固定平台(1)上,所述伸缩装置(61)竖直安装在旋转底座(62)上;所述伸缩装置(61)具有的固定端与旋转底座(62)绕旋转底座(62)的中心线转动配合;所述伸缩装置(61)具有的伸缩端位于加热装置(5)的一侧且与加热装置(5)固定连接。4.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:李占成,伍俊,王钟勋,史浩飞,李华峰,黄德萍,张永娜,段银武,余杰,
申请(专利权)人:重庆墨希科技有限公司,
类型:发明
国别省市:重庆;50
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