石英玻璃坩埚及其制造方法技术

在已知的用于生产石英玻璃坩埚的方法中提供了一种真空熔融模具，在其内侧面上成形出一个SiO2颗粒的坩埚形颗粒层，该颗粒层具有一个底部区域和一个侧壁区域。在该多孔颗粒层的至少一部分上构成了一个少气泡的石英玻璃构成的表皮层。通过施加负压，至少从与该表皮层相邻的颗粒层的一部分中去除了气态组分，并且该颗粒层被玻璃化，同时形成具有坩埚高度H的石英玻璃坩埚。为了由此出发提供一种简化生成过程并且降低杂质进入硅熔体中的危险的石英玻璃坩埚，根据本发明专利技术提出，在该颗粒层的一个上部区域中在玻璃化时在该表皮层之下并且与之相邻地制造一个气泡区，该上部区域与下部区域相接并且延伸直至全高H，该气泡区包含具有一个比气泡体积的多个填充有气体的气泡，该比气泡体积为该少气泡的石英玻璃中填充有气体的气泡的比体积的至少两倍，其实现方式为在该颗粒层的一个下部区域中施加一个负压，该下部区域从底部区域最大延伸直至坩埚高度H的0.8倍。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及一种用于拉拔单晶的石英玻璃坩埚，该坩埚具有一个坩埚高度H和一个具有内侧面的坩埚壁，该坩埚壁由一个底部和一个与该底部相连的石英玻璃侧壁形成，其中该内侧面至少部分地由一个致密石英玻璃的表皮层覆盖。此外，本专利技术涉及一种用于生产拉拔单晶用的石英玻璃坩埚的方法，该方法包括以下的方法步骤(a)制备一种带有一个壁的真空熔融模具,该壁具有一个内侧面、一个外侧面以及在该外侧面与内侧面之间的多个穿通孔，(b)在该真空熔融模具的内侧面上由SiO2颗粒成形出一个坩埚形的、多孔的颗粒层，其中该颗粒层具有一个底部区域以及一个侧壁区域， (C)在该多孔的颗粒层的至少一部分上由少气泡的石英玻璃形成一个表皮层，(d)从与该表皮层相邻的颗粒层的至少一部分上去除气态组分，其方式为在该熔融模具壁的外侧面上施加负压，(e)将该多孔的颗粒层玻璃化，同时形成具有坩埚高度H的石英玻璃坩埚。
技术介绍
根据所谓的直拉方法(Czochralski-Verfahren),石英玻璃 甘祸用于在拉拔娃单晶时接收硅熔体。在这种方法中，将多晶的、金属性的硅在石英玻璃坩埚中熔化并且从上方对熔体表面引入一种硅单晶的种晶，这样使得在晶体和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：W莱曼，T凯泽，
申请(专利权)人：赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司，
类型：
国别省市：