制造带有透明的由合成石英制成的内壁的石英玻璃坩埚的方法技术

本发明专利技术的基本目的是，提供一种方法，用于制造具有由透明的、少气泡的、纯净的、具有较长使用寿命的石英玻璃制成的内层的一种石英玻璃坩埚。根据本发明专利技术的目的是由一种方法实现的，该方法包括以下方法步骤：(a)制备一个具有内侧面的、由石英玻璃制成的坩埚基体，(b)通过气相沉积在坩埚基体的内侧面的至少一个部分面积上制造一个多孔SiO2灰料层，将多孔的SiO2灰料层干燥以减少羟基含量，以及在贫氢的气氛中将灰料层烧结成由透明石英玻璃制成的内层，从而将内层的石英玻璃中的羟基含量设定为小于100重量ppm。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制造带有透明的由合成石英制成的内壁的石英玻璃坩埚的方法本专利技术涉及制造带有透明的、由合成石英制成的内壁的石英玻璃坩埚的方法。石英玻璃坩埚主要用于容纳通过所谓直拉法实现的单晶特别是硅单晶的拉拔过程中产生的熔融半导体。此类石英玻璃坩埚的壁部一般由一个不透明的外层形成，该外层设置有一个透明的、尽可能无气泡的石英玻璃内层。透明的内层在拉拔过程中与熔体相接触并且处于较高的机械、化学和热学负载下。在内层中残留的气泡在温度和压力的作用下生长，并且可能最终破裂，由此在熔体中产生了断裂部件和杂质，于是造成了较低的无错位硅单晶产率。为了降低对熔体的腐蚀性侵袭并由此尽量少地从坩埚壁释放杂质，在此该内层是尽量均匀且少气泡的。 此外在先进的半导体晶片微型化过程中对半导体晶体以及石英玻璃坩埚纯度的要求不断提高。
技术介绍
根据DE 102008030310B3已知一种制造石英玻璃坩埚的方法，其中在真空熔融模具中借助一个模具刮板形成了具有大约12mm层厚度的、机械固定的石英砂制成的一个旋转对称的坩埚形颗粒层，然后同样使用模具刮板在此颗粒层上再成形出一个合成石英粉末的内颗粒层。合成石英粉末具有在50μπι到120μπι本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：W莱曼，T凯泽，M特罗默，C纳萨罗夫，
申请(专利权)人：赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司，
类型：
国别省市：