【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种高温烧结炉，特别涉及一种高温烧结炉的尾气收集装置。
技术介绍
授权公告号为CN 1072458C的中国专利文件CVI/CVD工艺尾气处理方法公开了用于进气为H2, Ar和金属有机硅烷CVI/CVD工艺尾气的处理方法。该方法主要采用三级复合处理工艺，按前置过滤、机械泵抽排、水过滤对尾气进行处理，使尾气的排放达到环保标准。前置过滤主要采用油过滤器及固体过滤器去除沉积产物固体粒子、分解产物焦油，部分去除HCl气体和去除残余焦油；水环泵、循环NaOH溶液和气水分离器组成的水过滤器去除HCl气体。在该专利文件中，采用机械泵进行抽真空，通过前置尾气处理装置，只有未完全去除的HCl进入水环泵中，随着水环泵排气进入到气水分离器中，分离的H2和Ar通过排气管 道排入大气，而HCl气体与NaOH溶液充分反应生成的盐水溶液进入水箱，当NaOH溶液的酸碱度为中性时，证明NaOH已消耗完毕，应及时更换NaOH水溶液。由于水环泵在工作中不断有水随着水环泵的排气被带出水环泵，因此需要不断给水环泵补充工作介质一水，而从上述工作过程可以看出，该专利文件的技术方案未考虑对水环泵的补给...
【技术保护点】
一种高温烧结炉的尾气收集设备，包括液环泵及与液环泵通过管道相连的后置过滤装置，其特征在于：所述后置过滤装置由两个以上相连通的液体容器串联组成，在相邻的液体容器接口处设有滤网，所述后置过滤装置的第一级容器通过管道直接与液环泵排气口相连，沿液体流动方向的最后一级容器通过管道与抽水泵连接，所述抽水泵另一端与所述液环泵的供液口通过管道连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马红彬，陈志伟，李乐乐，郭赛，
申请(专利权)人：河南雅利安特种陶瓷有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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