可减少接触热应力的超声波邦定变幅杆制造技术

本发明专利技术涉及一种可减少接触热应力的超声波邦定变幅杆，其水平布置的变幅杆头部上，由槽划分的两个夹持部分相互锁紧时，将竖直安装孔内插入的瓷嘴抱紧固定；该变幅杆头部上水平设置了应力释放孔，其由所述安装孔的位置开始，分别向两侧贯通所述两个夹持部分而开设；所述应力释放孔的轴线分别与所述安装孔和瓷嘴的轴线以及所述变幅杆的轴线垂直，所述应力释放孔的轴线还与锁紧两个夹持部分的连接件的轴线平行。所述应力释放孔的开设，使瓷嘴的两侧与变幅杆头部之间原本连续的接触面断开，因而减小了产生的接触应力随温度变化而产生的变化，从而减小超声波传递能量因温升而产生的变化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是应用于集成电路和半导体封装领域的超声波邦定变幅杆，特别涉及一种可减少接触热应力的超声波邦定变幅杆。
技术介绍
目前，在半导体超声波邦定应用领域中，广泛使用的变幅杆头部10如图I所示。如图2所示，水平的变幅杆头部10上竖直开设一安装孔12，一瓷嘴20对应插入该安装孔12中，使该安装孔12的内壁与瓷嘴20的顶部周围相互接触。变幅杆头部10开设有一个槽13，将该变幅杆头部10分成左右两个夹持部分11。当螺丝30横向穿过该变幅杆头部10并锁紧时，使所述两个夹持部分11相向靠拢，并挤向瓷嘴20，从而将瓷嘴20从左右两边紧紧抱住，进行固定。螺丝30横向穿过的位置，与所述安装孔12纵向开设的位置相互之间没有干涉。在工作时，变幅杆头部10带着瓷嘴20沿着变幅杆100的轴向作高频振动，使超声波振 动通过瓷嘴20传递到邦定点。因此，瓷嘴20与变幅杆头部10上所述两个夹持部分11之间接触的稳定性，将直接影响到邦定结果的稳定性。另外，在超声波邦定过程中，变幅杆100的超声振动会使其本身升温。变幅杆100下方处于高温下的邦定表面，也会导致变幅杆头部10的进一步升温。变幅杆头部10的温度变化，加上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可减少接触热应力的超声波邦定变幅杆，其特征在于，水平布置的变幅杆（100）的轴向前端设置有变幅杆头部（10），所述变幅杆头部（10）上竖直开设了安装孔（12），使瓷嘴（20）对应插入其中；沿变幅杆（100）的轴向，在所述变幅杆头部（10）上还开设有槽（13），其竖直贯通所述变幅杆头部（10）并使之分成两个夹持部分（11）；所述变幅杆头部（10）上与所述安装孔（12）不相干涉的位置，水平设置了贯穿所述两个夹持部分（11）的连接件；该连接件锁紧时，使所述两个夹持部分（11）相向靠拢，并在两侧分别与所述安装孔（12）中的瓷嘴（20）紧密接触，实现对该瓷嘴（20）的固定；所述变幅杆头部（10）上与...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：翟宝年，
申请(专利权)人：上海声定科技有限公司，
类型：发明
国别省市：