一种氯硅烷取样管路制造技术

本实用新型专利技术公开了一种氯硅烷取样管路，属于多晶硅技术领域。本实用新型专利技术的氯硅烷取样管路，包括主管线，所述主管线将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，其特征在于：在主管线上连接有取样管线，该取样管线在靠近取样口处弯曲，使取样口指向下，所述取样管线上设置有取样控制阀。本实用新型专利技术的氯硅烷取样管路结构简单，操作简便，安全可靠，适合推广应用；可以确保取样质量及其分析结果的可靠性，同时减少物料排放和清洗取样管口次数，降低了取样难度，改善操作工人的工作环境。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多晶硅
，特别是一种多晶硅的尾气回收系统中氯硅烷的监控技术。
技术介绍
多晶硅的生产过程中，监控尾气回收系统中的氯硅烷质量对多晶硅生产至关重要，影响着多晶娃的广品质量。现有的多晶硅工艺过程中，在尾气回收系统的六套装置中共设置10个取样点，分析人员需要每天取样二次。在取样过程中，由于取样口的位置及其引流管的直径太小，同时在取样时需用大量干沙或者碱液对氯硅烷进行处理，取样现场存在着人员安全和质量隐患，给操作人员带了诸多工作不便，同时现有取样过程中存在如下缺陷①取样口的引流管 直径太小，易造成堵塞，增加了员工的不必要的工作量和检修成本；②取样口的位置靠近地面或地沟，取完样后地沟中含有大量的氯硅烷，造成水质污染；③地面的氯硅烷在清扫过程中易产生火花甚至起火；④操作现场的空气中弥漫着浓浓的刺激性气味，影响人员的呼吸和空气环境；⑤取样口暴露在空气中，雨天取样时氯硅烷与取样口的水滴发生化学反应，严重影响到取样的质量及其最后的分析结果；⑥现在取样中采用干沙或者是碱液处理氯硅烷的方式存在安全隐患。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于针对上述存在的问题，提供一种结构简单，操作简便，安全本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氯硅烷取样管路，包括主管线（1），所述主管线（1）将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，其特征在于：在主管线（1）上连接有取样管线（3），该取样管线（3）在靠近取样口（4）处弯曲，使取样口（4）指向下，所述取样管线（3）上设置有取样控制阀（5）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐浦敏，
申请(专利权)人：四川瑞能硅材料有限公司，
类型：实用新型
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