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本实用新型公开了一种氯硅烷取样管路，属于多晶硅技术领域。本实用新型的氯硅烷取样管路，包括主管线，所述主管线将含有氯硅烷的尾气连接至环保车间，其特征在于：在主管线上连接有取样管线，该取样管线在靠近取样口处弯曲，使取样口指向下，所述取样管线上设...
该专利属于四川瑞能硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川瑞能硅材料有限公司授权不得商用。

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