【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种微动工作台，尤其涉及一种六自由度微动工作台，主要应用于半导体光刻设备中，属于超精密加工和检测设备
技术介绍
具有高精度和快速响应的微动工作台在现代制造技术中具有极其重要的地位，被视为一个国家高技术发展水平的重要标志。在超精密机床中，超精密微动工作台用于对进给系统进行误差补偿，实现超精密加工；在大规模集成电路制造中，超精密微动工作台用于光刻设备中进行微定位和微进给；在扫描探针显微镜中，超精密微动工作台用于测量样品表面形貌，进行纳米加工；在生物工程方面，超精密微动工作台用于完成对细胞的操作，实现生物操作工程化；在医疗科学方面，超精密微动工作台用于显微外科手术，以 便减轻医生负担，缩短手术时间，提高成功率。超精密微动工作台还被广泛应用于光纤对接，MEMS系统加工、封装及装配，以及电化学加工等领域中。在半导体光刻设备中，光刻机娃片台和掩模台大多米用粗精叠层结构，包含一个超精密微动工作台。该微动台叠加于粗动台之上，用于对粗动台进行精度补偿。微动工作台定位精度决定了光刻机的曝光精度，运动速度决定了光刻机的生产效率。因此，美国、日本、欧洲等发达国家...
【技术保护点】
一种六自由度微动工作台，含有实现微动工作台在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转三个自由度运动的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的三个自由度的运动的第二种电磁力驱动模块，其特征在于：所述的第一种电磁力驱动模块采用四组，其中两组电磁力驱动模块沿X轴关于Y轴对称布置，另外两组电磁力驱动模块沿Y轴关于X轴对称布置，所述第二种电磁力驱动模块采用四组，分别布置在微动台基座上表面的四个象限中，四组第二种电磁力驱动模块与四组第一种电磁力驱动模块相间布置；每组第一种电磁力驱动模块和每组第二种电磁力驱动模块至少包括一个电磁力驱动单元，每个电磁力驱动单元由永...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张鸣，朱煜，田丽，张利，秦慧超，王平安，刘召，杨开明，徐登峰，胡金春，尹文生，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：
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