【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种输送车,例如用于在洁净室中对收纳有多张基板的盒等被输送物进行输送。
技术介绍
以往已知有对被输送物的位置偏移进行修正的技术。例如专利文献I所记载的移载装置具备传感器,测定被输送物的沿着进深方向的距离;和控制器,根据传感器所测定的距离,修正支撑被输送物的支撑部的伸出量;修正被输送物的位置偏移而将被输送物移载到正确的位置。专利文献I :日本特开2010-208816号公报 被输送物的位置偏移在输送工序中被累积而偏移量变大,因此需要如上述那样进行修正以成为规定的位置。另一方面,在半导体、液晶等的制造工序中,还要求使时间损失较少而高效地输送被输送物。因此,期待着高效地修正被输送物的位置偏移。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题而进行的,其目的在于提供一种能够高效地修正被输送物的位置偏移的输送车。本专利技术的输送车,对被输送物进行输送,其特征在于,具备主体部,设置为能够沿着规定的方向行驶;旋转部,设置为能够相对于上述主体部以上下方向的轴为中心进行旋转;水平多关节臂,设置于上述旋转部,载放上述被输送物,并且仅在一个方向上伸缩而取出放入上述被输送物;第一 ...
【技术保护点】
一种输送车,对被输送物进行输送,其特征在于,具备:主体部,设置为能够沿着规定的方向行驶;旋转部,设置为能够相对于上述主体部以上下方向的轴为中心进行旋转;水平多关节臂,设置于上述旋转部,载放上述被输送物,并且仅在一个方向上伸缩而取出放入上述被输送物;第一位置检测机构,在上述水平多关节臂的基部侧且在比载放上述被输送物的载放面靠上方的位置,分离地设置有2个该第一位置检测机构,检测伸缩方向上的上述被输送物的第一位置;以及第二位置检测机构,在上述水平多关节臂设置有1个该第二位置检测机构,检测与上述伸缩方向在水平面内正交的方向上的上述被输送物的第二位置。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:田中博,
申请(专利权)人:村田自动化机械有限公司,
类型:发明
国别省市:
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