一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，包括回收系统Ⅰ和回收系统Ⅱ，所述回收系统Ⅰ包含有换热器Ⅰ（1）、吸附柱Ⅰ（2）和之间连接的管道Ⅰ（3），所述回收系统Ⅱ包含有换热器Ⅱ（4）、吸附柱Ⅱ（5）和之间连接的管道Ⅱ（6），所述管道Ⅰ（3）和管道Ⅱ（6）通过设置带有阀门Ⅰ（8）的管道Ⅲ（7）连通；所述管道Ⅰ（3）上设置阀门Ⅱ（9），所述阀门Ⅱ（9）位于换热器Ⅰ（1）和管道Ⅲ（7）之间；所述管道Ⅱ（6）上设置阀门Ⅴ（11），所述阀门Ⅴ（11）位于换热器Ⅱ（4）和管道Ⅲ（7）之间。该吸附柱并网装置成本低廉，有效的降低正常运行的尾气回收系统中吸附柱的负荷，提升尾气处理量和回收氢气质量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

—种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置
本技术涉及一种吸附柱并网装置，特别是一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，属于多晶硅化工

技术介绍
国内外的多晶硅生产主要采用“改良西门子法”，该方法中的⑶I工艺是比较成熟的多晶硅生产尾气回收工艺，其工艺步骤大概为尾气先经过冷凝将氯硅烷、氯化氢和氢气分离开后，液态的氯硅烷送精馏工序，气态的氯化氢、氢气经过吸收塔、解析塔被分离开，其中的氯化氢送至合成工序，氢气再经吸附柱除去残余的氯硅烷和氯化氢后继续作为生产原料使用。由于多晶硅还原系统中的尾气回收和氢化系统中的尾气回收是两套独立的系统， 但是由于还原系统和氢化系统输送至尾气回收工序的物料具有相近性，所以在其中一套尾气回收系统出现动力设备(如压缩机和螺杆机等)工况意外下，则可以用另外一套正常运行的回收系统处理来同时处理还原系统和氢化系统的尾气以维持生产。但是由于单套系统处理能力有限，此时还原系统和氢化系统必须减量运行，但即使在降低生产负荷情况下，单套吸附柱净化氢气也不能保证回收氢气质量，而回收氢气质量作为影响多晶硅质量的关键因素之一，这将直接导致产品质量及产量明显下滑。在尾气回收系统本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅尾气回收系统吸附柱并网装置，包括回收系统Ⅰ和回收系统Ⅱ，所述回收系统Ⅰ包含有换热器Ⅰ（1）、吸附柱Ⅰ（2）和之间连接的管道Ⅰ（3），所述回收系统Ⅱ包含有换热器Ⅱ（4）、吸附柱Ⅱ（5）和之间连接的管道Ⅱ（6），其特征在于：所述管道Ⅰ（3）和管道Ⅱ（6）通过设置带有阀门Ⅰ（8）的管道Ⅲ（7）连通；所述管道Ⅰ（3）上设置阀门Ⅱ（9），所述阀门Ⅱ（9）位于换热器Ⅰ（1）和管道Ⅲ（7）之间；所述管道Ⅱ（6）上设置阀门Ⅴ（11），所述阀门Ⅴ（11）位于换热器Ⅱ（4）和管道Ⅲ（7）之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：罗邦彦，
申请(专利权)人：四川瑞能硅材料有限公司，
类型：实用新型
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