形成在基板上的金属接触部的处理方法技术

技术编号:8194471 阅读:201 留言:0更新日期:2013-01-10 04:07
本发明专利技术涉及一种在基板上获得金属接触部的方法,包括以下步骤:(a)沉积由金属粉末和溶剂的混合物形成的浆料形式的金属图形,(b)加热步骤(a)中形成的组件以蒸发所述溶剂,以及(c)退火所述组件以在所述金属图形和所述基板之间形成金属接触部。本发明专利技术的特征在于所述方法包括步骤(d),在步骤(d)中通过能量密度在0.5J/cm2和15J/cm2之间的激光加热所述金属接触部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于处理产生在基板上的金属接触部的方法,在基板和金属之间可提供有介电层。
技术介绍
根据本专利技术的方法可尤其用于太阳能电池生产中。具体地说,在这类应用中,为了能聚集基板中通过光电效应产生的电子,在基板的正面和背面沉积金属接触部。 在光伏产业中通常使用的生产方法包括以下步骤。首先将基板(例如由P-型硅制成)切割成所需的尺寸。然后,为了改善以这种方式切割出的表面的质量,例如用碱金属进行化学蚀刻。通常,为了形成能够捕获基板中入射光的光子的光学结构,进行正面的织构化步骤,以便于提高电池的效率。这可例如为通过氢氧化钠的化学蚀刻产生的金字塔形的光学结构。然后,基板的表面为例如通过磷的扩散的掺杂η-型。由于基板的表面在进行掺杂前必须是洁净的,之前的步骤可包括进行酸蚀刻以便于中和任何残余的碱且消除任何杂质。接下来,去除垂直边缘的η-型掺杂以分离这些边缘。这可通过例如等离子体蚀刻来实现。然后,在基板的整个正面上沉积介电层,以便于提供防反射功能。该介电层可通过氮化硅(NiS)的气相沉积产生。然后,金属接触部产生在基板的正面和背面上。尤其是,沉积在背面的浆料包括与溶剂混合的铝粉末。这本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:拉斐尔·卡巴尔
申请(专利权)人:原子能和替代能源委员会
类型:
国别省市:

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