【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微纳光学、应用光学和衍射光学交叉
,主要涉及一种激光器,尤其是出射端面集成有光栅-菲涅尔透镜复合结构的亚波长聚焦的半导体激光器。
技术介绍
具有出射光束自聚焦功能的半导体激光器在光存储,激光加工及光探针测量领域有着重要应用前景。哈佛大学的Nanfang Yu等人在量子级联激光器出射端面的一侧加工了带有二元周期凹槽结构的非对称金膜,使得红外波段激光的发散角显著降低。西北大学的Dibyendu Dey等人在量子激光器出射端面集成了金属-介质-金属结构,在出射端面表面实现了 4000倍入射光强度的聚焦光斑。由于焦距只有几十纳米,不能满足远场聚焦的需求。宾西法尼亚州立大学的Chuan Yang等人将锯齿型光栅-菲涅尔混合透镜设计在光路系统中来实现亚波长聚焦和分光功能,混合透镜采用BK7玻璃制成。由于设计采用点光源,不适合与激光器一体化集成,且其聚焦方式为离轴式。
技术实现思路
本专利技术提供了一种高集成度的亚波长聚焦激光器。本专利技术的目的是这样实现的 一种激光器,包括激光出射端面,其特征在于出射端面为光栅和菲涅尔透镜的复合结构。 优选的是所述光栅为环 ...
【技术保护点】
一种激光器,包括激光出射端面,其特征在于:出射端面为光栅和菲涅尔透镜的复合结构。
【技术特征摘要】
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