用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖制造技术

本发明专利技术提供了一种用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖。用于半导体制造的半导体制造设备包括涡轮分子泵、涡轮泵阀门、泵抽吸端口；其中，所述涡轮分子泵通过所述涡轮泵阀门与泵抽吸端口相连。所述泵抽吸端口遮挡盖用于盖在半导体制造装置腔体内的泵抽吸端口上。所述泵抽吸端口遮挡盖包括：环形侧壁、以及布置在环形侧壁外周的密封圈。根据本发明专利技术，在泵抽吸端口上安装了泵抽吸端口遮挡盖，使聚合物粘附在泵抽吸端口遮挡盖内壁，而不会粘附在泵抽吸端口上。由此，在保养中只需向上取出泵抽吸端口遮挡盖，再对泵抽吸端口遮挡盖进行清洗即可，由此节省了时间和人力，保证了涡轮分子泵的使用寿命并保证了产品良率。

【技术实现步骤摘要】
用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖
本专利技术涉及半导体制造工艺，更具体地说，本专利技术涉及一种用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖。
技术介绍
在半导体制造工艺中，例如在金属刻蚀工艺中，需要使用适半导体制造装置。图1示意性地示出了根据现有技术的一种半导体制造装置的部分立体分解图。如图1所示，半导体制造装置包括：涡轮分子泵3、涡轮泵阀门2、泵抽吸端口1。其中，涡轮分子泵3通过涡轮泵阀门2与泵抽吸端口1相连。由于在半导体制造中所产生的某些聚合物具有较强的粘附能力，这些聚合物会粘附在泵抽吸端口等腔体内的各个部位，这种聚合物粘附到一定程度会产生不可预计的剥落，从而严重影响产品的良率。然而这种聚合物非常难以清除，通常需要拆卸后才能彻底清洗干净，可是泵抽吸端口的拆卸非常复杂。更具体地说，泵抽吸端口1不容易拆卸的原因是腔体是不能动的，从图1可以看出，要拆卸泵抽吸端口必须先拆掉涡轮分子泵3和涡轮泵阀门2才行。除了工作量非常大和繁重之外，涡轮分子泵内其实也是有很多聚合物的，如果这些聚合物吸收到空气中的水分会对涡轮分子泵造成一定的伤害，缩短它的使用寿命，所以一般我们在做机台保养时是不打开涡轮泵阀门的，这本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其中用于半导体制造的半导体制造设备包括涡轮分子泵、涡轮泵阀门、泵抽吸端口；其中，所述涡轮分子泵通过所述涡轮泵阀门与泵抽吸端口相连，其特征在于包括：所述泵抽吸端口遮挡盖用于盖在半导体制造装置腔体内的泵抽吸端口上。

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其中用于半导体制造的半导体制造设备包括涡轮分子泵、涡轮泵阀门、泵抽吸端口；其中，所述涡轮分子泵通过所述涡轮泵阀门与泵抽吸端口相连，其特征在于：包括泵抽吸端口遮挡盖，用于盖在半导体制造装置腔体内的泵抽吸端口上，所述泵抽吸端口遮挡盖包括：环形侧壁、以及布置在环形侧壁外周的密封圈，所述泵抽吸端口遮挡盖的所述环形侧壁的与圆形底部相对的一侧具有内导角。2.根据权利要求1所述的用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其特征在于，所述密封圈是橡胶圈。3.根据权利要求1所述的用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖，其特征在于，所述泵抽吸端口遮挡盖的所述圆形底部和所述环形侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：包中诚，陈超，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：