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本发明提供了一种用于半导体制造的泵抽吸端口的遮挡盖。用于半导体制造的半导体制造设备包括涡轮分子泵、涡轮泵阀门、泵抽吸端口；其中，所述涡轮分子泵通过所述涡轮泵阀门与泵抽吸端口相连。所述泵抽吸端口遮挡盖用于盖在半导体制造装置腔体内的泵抽吸端口上...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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