一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔制造技术

本发明专利技术公开了一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，所述洗涤精馏塔包括塔体，所述塔体下部设有合成尾气进口，塔体上部设有洗涤后气出口，所述塔体内包括从上至下依次连接的塔板区、筛板区和挡板区，其中，所述挡板区位于所述合成尾气进口上方，所述挡板区内径向设置人字挡板，所述人字挡板上设有开口以除去合成尾气中的固体杂质；所述筛板区内设有筛板；所述塔板区内设有多层塔板，相邻塔板之间设有溢流堰。根据本发明专利技术实施例的洗涤精馏塔，将合成尾气的洗涤与精馏分离相结合，从洗涤精馏塔上部出来的洗涤后气中只含有极微量金属杂质，可以减少由于金属杂质沉积对后续系统的堵塞，提高了洗涤精馏塔的操作稳定性和连续性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及三氯氢硅合成
，更具体地，本专利技术涉及一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔。
技术介绍
多晶硅是集成电路和光伏发电用关键原材料，是《国家中长期科学和技术发展规划纲要》制造业领域基础原材料优先主题的重要内容。世界多晶硅生产的产业化技术主要有二种工艺，即改良西门子工艺和硅烷法工艺。以产能比较，改良西门子工艺占总产能的82%，硅烷法占18%，先进的多晶硅生产技术一直由美、日、德等国的几家公司所垄断。而三氯氢硅，又名三氯硅烷(SiHCl3)为改良西门子工艺生产多晶硅的主要原料。目前三氯氢硅合成尾气处理的方法主要为干法除尘及干法与湿法除尘相结合，干 法除尘的缺点是对气固分离设备的要求较高，且金属杂质容易粘附到管壁，影响系统运行的连续性，而采用干法与湿法除尘相结合的方式，可以适当降低气固分离设备的分离要求，但其湿法除尘塔大多为洗涤塔，洗涤后气仍含有大量的金属杂质，影响后续系统的连续稳定运行。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种稳定性强、连续性好、除杂效果明显的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔。根据本专利技术实施例的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，所述洗涤精馏塔包括塔体，所述塔体下部设有合成尾气进口，塔体上部设有洗涤后气出口，所述塔体内包括从上至下依次连接的塔板区、筛板区和挡板区，其中，所述挡板区位于所述合成尾气进口上方，所述挡板区内径向设置人字挡板，所述人字挡板上设有开口以除去合成尾气中的固体杂质；所述筛板区内设有筛板，所述筛板将经过所述挡板区处理的合成尾气进行筛选以除去合成尾气中残存的固体杂质；所述塔板区内设有多层塔板，相邻塔板之间设有溢流堰，所述塔板区将经过所述筛板区处理的合成尾气进行洗涤以除去其中的金属杂质。根据本专利技术实施例的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，将合成尾气的洗涤与精馏分离相结合，用较小的淋洗量将固体杂质和金属杂质排出，降低了物料消耗和后续系统的处理负荷；从洗涤精馏塔上部出来的洗涤后气中只含有极微量金属杂质，可以减少由于金属杂质沉积对后续系统的堵塞，提高了洗涤精馏塔的操作稳定性和连续性。另外，根据本专利技术上述实施例的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，还可以具有如下附加的技术特征根据本专利技术的一个实施例，所述人字挡板设有3 5层，各层人字挡板沿塔体轴向交替分布。根据本专利技术的一个实施例，所述筛板设有5 10层。根据本专利技术的 一个实施例，所述筛板的筛孔直径为8 14mm，所述筛板沿塔体轴向分布，且从上至下分布的筛板的筛孔直径依次增大。根据本专利技术的一个实施例，所述塔板区内塔板为筛板塔盘或固舌塔盘。根据本专利技术的一个实施例，所述塔板设有10 20层。根据本专利技术的一个实施例，所述塔体底部设有排液口以排出经过洗涤精馏产生的残液。根据本专利技术的一个实施例，所述洗涤精馏塔的操作压力为O. 15 O. 25MPa。根据本专利技术的一个实施例，所述洗涤精馏塔的操作温度为50 90°C。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中图I是根据本专利技术实施例的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔的结构示意图；图2是具有根据本专利技术实施例的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔的三氯氢硅合成尾气的处理系统示意图；图3是根据图2中所述三氯氢硅合成尾气的处理系统的处理方法流程图。具体实施例方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面结合附图具体描述根据本专利技术实施例的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔。具体而言，如图I所示，根据本专利技术实施例的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔包括塔体10。 塔体10下部设有合成尾气进口 11，塔体10上部设有洗涤后气出口 12，塔体10内包括从上至下依次连接的塔板区20、筛板区30和挡板区40。其中，挡板区40位于合成尾气进口 11上方，挡板区40内径向设置人字挡板41，人字挡板41上设有开口 411以除去合成尾气中的固体杂质。筛板区30内设有筛板31，筛板31将经过挡板区40处理的合成尾气进行筛选以除去合成尾气中残存的固体杂质。塔板区20内设有多层塔板21，相邻塔板21之间设有溢流堰22，塔板区20将经过筛板区30处理的合成尾气进行洗涤以除去其中的金属杂质。由此，根据本专利技术实施例的用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，将合成尾气的洗涤与精馏分离相结合，用较小的淋洗量将固体杂质和金属杂质排出，降低了物料消耗和后续系统的处理负荷；从洗涤精馏塔上部出来的洗涤后气中只含有极微量金属杂质，可以减少由于金属杂质沉积对后续系统的堵塞，提高了洗涤精馏塔的操作稳定性和连续性。根据本专利技术的一个实施例，人字挡板41设有3 5层，各层人字挡板41沿塔体10轴向交替分布。由此，此区域可以除掉三氯氢硅合成尾气中大部分的固体颗粒杂质，使其进入洗涤液中作为残液排出。进一步地，根据本专利技术的一个实施例，筛板31设有5 10层。有利地，根据本专利技术的一个实施例，筛板31的筛孔直径为8 14mm，筛板31沿塔体10轴向分布，且从上至下分布的筛板31的筛孔直径依次增本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述洗涤精馏塔包括塔体，所述塔体下部设有合成尾气进口，塔体上部设有洗涤后气出口，所述塔体内包括从上至下依次连接的塔板区、筛板区和挡板区，其中，所述挡板区位于所述合成尾气进口上方，所述挡板区内径向设置人字挡板，所述人字挡板上设有开口以除去合成尾气中的固体杂质；所述筛板区内设有筛板，所述筛板将经过所述挡板区处理的合成尾气进行筛选以除去合成尾气中残存的固体杂质；所述塔板区内设有多层塔板，相邻塔板之间设有溢流堰，所述塔板区将经过所述筛板区处理的合成尾气进行洗涤以除去其中的金属杂质。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵雄，杜俊平，严大洲，汤传斌，肖荣晖，毋克力，杨永亮，姜利霞，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：