【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及三氯氢硅合成
，更具体地，本专利技术涉及一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔。
技术介绍
多晶硅是集成电路和光伏发电用关键原材料，是《国家中长期科学和技术发展规划纲要》制造业领域基础原材料优先主题的重要内容。世界多晶硅生产的产业化技术主要有二种工艺，即改良西门子工艺和硅烷法工艺。以产能比较，改良西门子工艺占总产能的82%，硅烷法占18%，先进的多晶硅生产技术一直由美、日、德等国的几家公司所垄断。而三氯氢硅，又名三氯硅烷(SiHCl3)为改良西门子工艺生产多晶硅的主要原料。目前三氯氢硅合成尾气处理的方法主要为干法除尘及干法与湿法除尘相结合，干 法除尘的缺点是对气固分离设备的要求较高，且金属杂质容易粘附到管壁，影响系统运行的连续性，而采用干法与湿法除尘相结合的方式，可以适当降低气固分离设备的分离要求，但其湿法除尘塔大多为洗涤塔，洗涤后气仍含有大量的金属杂质，影响后续系统的连续稳定运行。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种稳定性强、连续性好、除杂效果明...
【技术保护点】
一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔，其特征在于，所述洗涤精馏塔包括塔体，所述塔体下部设有合成尾气进口，塔体上部设有洗涤后气出口，所述塔体内包括从上至下依次连接的塔板区、筛板区和挡板区，其中，所述挡板区位于所述合成尾气进口上方，所述挡板区内径向设置人字挡板，所述人字挡板上设有开口以除去合成尾气中的固体杂质；所述筛板区内设有筛板，所述筛板将经过所述挡板区处理的合成尾气进行筛选以除去合成尾气中残存的固体杂质；所述塔板区内设有多层塔板，相邻塔板之间设有溢流堰，所述塔板区将经过所述筛板区处理的合成尾气进行洗涤以除去其中的金属杂质。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵雄，杜俊平，严大洲，汤传斌，肖荣晖，毋克力，杨永亮，姜利霞，
申请(专利权)人：中国恩菲工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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