下载一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔的技术资料

文档序号:8185459

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本发明公开了一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔,所述洗涤精馏塔包括塔体,所述塔体下部设有合成尾气进口,塔体上部设有洗涤后气出口,所述塔体内包括从上至下依次连接的塔板区、筛板区和挡板区,其中,所述挡板区位于所述合成尾气进口上方,所述挡板...
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