【技术实现步骤摘要】
高精度槽体换热系统
本技术涉及ー种多晶硅片制绒过程中槽体温度控制的技木，尤其涉及ー种高精度槽体换热系统。背景技木目前，公知的制多晶绒槽体温度控制方法为槽体中加入冷却细管，通过外部冰水机把冷水通过细管传入槽体内达到槽体温度控制的目的。但是这种常规的方法有极大的弊端，这种传统的冷却方式使得槽体内局部温度 控制精度偏低，对硅片绒面产生极大影响，致使多晶绒面不均匀，绒面深度相差较大。致使硅片的反射率偏高影响电池效率。
技术实现思路
为了克服现有的制绒槽体冷却系统对温度控制的不均匀，本着技术的ー种优异制绒槽体冷却系统，不仅准确控制槽体温度，并且能够充分忽略管路中对温度的影响。可使多晶绒面达到理想的效果。本技术的上述目的通过以下的技术方案来实现ー种高精度槽体换热系统，其特征在于它包括换热器、上槽体、下槽体、泵浦、过滤装置和水管，所述换热器、上槽体、下槽体、泵浦和过滤装置依次连接并形成回路，所述换热器通过冷热水交换管路连接冰水机，构成冷却水循环系统。所述换热器和上槽体之间的水管支管上设有隔膜阀。所述泵浦出ロ处设有泄压保护管路。所述换热器上设有积液排放管路。本技术的结构设计，使得药水在上层槽体循环过程中吸收热量，经循环系统进入下槽体内。经泵浦和过滤器进入热交換装置，使之热量充分交换进入上槽体工作区域，完成整个循环。本技术的有益效果是可以使药液在冷却系统内充温度充分降低到最佳制绒温度。且温度分布均匀，解决了局部温度过高的问题。附图说明图I为本技术的结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术进ー步详述如图I所示，ー种高精度槽体换热系统，其特征在于它包括换热器I、上槽体2...
【技术保护点】
一种高精度槽体换热系统，其特征在于：它包括换热器、上槽体、下槽体、泵浦、过滤装置和水管，所述换热器、上槽体、下槽体、泵浦和过滤装置依次连接并形成回路，所述换热器通过冷热水交换管路连接冰水机，构成冷却水循环系统。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，施利君，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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