【技术实现步骤摘要】
新风助排式盖板
本技术涉及ー种用于太阳能硅电池湿法刻蚀机及制绒机抽风盖板装置,尤其涉及ー种新风助排式盖板。背景技木目前,国内国产的太阳能硅电池湿法刻蚀设备及制绒设备中,由于硅片反应过程会释放出大量的腐蚀性气体,这些气体不均匀的笼罩着硅片表面,影响着硅片清洗的刻蚀、制绒效果,进而使之最终转换率不高。同时设备中气体中含腐蚀性气体过多,导致设备使用年限严重缩减,影响设备的正常使用寿命,酸气过重也会造成对人体严重的损害,对生产线员エ健康极为不利。
技术实现思路
由于太阳能硅电池湿法刻蚀机及制绒机所采用的是强挥发性酸,为了保证设备エ作区域浓重的酸气大量扩散,本技术提供了一种新风助排式盖板来改善排风的装置,通过这种盖板,解决了传统设备中酸气过重现象,改善了硅片清洗气场。再其提高硅片清洗效果的同时,加强了设备防腐能力,也減少了浓厚的酸气所给操作人员带来的伤害。本技术的上述目的通过以下的技术方案来实现一种新风助排式盖板,其特征在于所述盖板顶部设置主抽风孔;在主抽风孔下方设置V型过渡抽风腔体,依接近主抽风ロ远近而在其底部设置有大到小排列的汇气孔,防止因局部抽风猛烈影响硅片清洗不 ...
【技术保护点】
一种新风助排式盖板,其特征在于:所述盖板顶部设置主抽风孔;在主抽风孔下方设置V型过渡抽风腔体,依接近主抽风口远近而在其底部设置有大到小排列的汇气孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘金升,张强,
申请(专利权)人:苏州晶洲装备科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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