液刀刀头制造技术

本技术属于喷淋液刀技术领域，公开了一种液刀刀头。液刀刀头包括第一刀体与第二刀体，第一刀体上设置有第一贴合面以及注液通路；第二刀体与第一刀体相连接，第二刀体设置有第二贴合面，第一贴合面与第二贴合面之间配合形成排液通路，第一贴合面与第二贴合面中的其中一个设置有稳流部，另一个设置有稳流槽，稳流部与稳流槽相配合形成与排液通路相连通的稳流通道，第一贴合面与第二贴合面中的至少一个上设置有与排液通路相连通的储液槽。该液刀刀头通过设置稳流部与稳流相配合形成的稳流通道以及储液槽，能够避免流体流动过程中由于产生流速差而造成湍流分流的现象，使得流体从出液口喷出时更加均匀。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及喷淋液刀，尤其涉及一种液刀刀头。

技术介绍

1、液刀刀头主要使用在半导体、平板显示(lcd、amoled)、光伏等涉及湿制程工艺的设备上，主要可应用于清洗机、剥离机、刻蚀机、涂布机、显影机等。

2、目前市场上的液刀均采用常规方式(即两部分刀体组合)组装，并在刀体内部设置缓冲槽，流体经过缓冲槽导流后再进行喷淋，但现有的缓冲槽结构单一，流体在刀体内部高速流动时，细微压力波动就会造成湍流以及空化产生气泡累积，最终造成喷淋不均匀。

3、因此，亟需提出一种液刀刀头，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种液刀刀头，改善了液刀内部通路的结构，使得流体从出液口喷出时更加均匀。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、液刀刀头，包括：

4、第一刀体，所述第一刀体设置有第一贴合面以及注液通路；

5、第二刀体，与所述第一刀体相连接，所述第二刀体设置有第二贴合面，所述第一贴合面与所述第二贴合面之间配合形成排液通路，所述第一贴本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.液刀刀头，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的液刀刀头，其特征在于，所述第二贴合面(21)上还设置有缓冲槽(212)，所述注液通路(12)通过所述缓冲槽(212)与所述排液通路(100)相连通。

3.根据权利要求2所述的液刀刀头，其特征在于，所述缓冲槽(212)的上部(2121)的槽壁设置为弧形槽壁。

4.根据权利要求2所述的液刀刀头，其特征在于，所述缓冲槽(212)的下部(2122)的槽壁与所述第一贴合面(11)之间的距离由上向下逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的液刀刀头，其特征在于，所述储液槽(13)的纵截面为弧形。...

【技术特征摘要】

1.液刀刀头，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的液刀刀头，其特征在于，所述第二贴合面(21)上还设置有缓冲槽(212)，所述注液通路(12)通过所述缓冲槽(212)与所述排液通路(100)相连通。

3.根据权利要求2所述的液刀刀头，其特征在于，所述缓冲槽(212)的上部(2121)的槽壁设置为弧形槽壁。

4.根据权利要求2所述的液刀刀头，其特征在于，所述缓冲槽(212)的下部(2122)的槽壁与所述第一贴合面(11)之间的距离由上向下逐渐减小。

5.根据权利要求1所述的液刀刀头，其特征在于，所述储液槽(13)的纵截面为弧形。

6.根据权利要求1所述的液刀刀头，其特征在于，所述排液通路(100)的下端设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：隋志明，蒋新，陈书良，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：