【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种传动设备，尤其涉及一种将旋转运动密封地传递至液态环境的传动设备。
技术介绍
随着科学技术的迅猛发展，对工业工艺要求日益增高，真空技术在高科技产业化的发展中展现出广阔的应用前景，尤其体现在对真空环境要求极高的数码显示面板产业中。例如，薄膜晶体管显不屏(LCD-TFT, Liquid Crystal Display-Thin Film Transistor) >有机发光显示器件(OLED, Organic Light-Emitting Diode)面板、太阳能电池板及其他类似者的制程中，由于此类制程的工艺要求比较严格，即必须在真空状态下以及完全洁净的空间环境中进行。例如，在IXD-TFT、OLED及太阳能电池板的制程中，光刻是必不可少的步骤，光刻生产的目标是根据设计的要求，生成尺寸精确的特征图形，一般的光刻工艺要经历·玻璃基片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序；其中，蚀刻也称光化学蚀刻(photochemical etching),是指通过曝光制版、显影后，将要蚀刻区域的保护膜去除，在蚀刻时接触化学...
【技术保护点】
一种旋转运动传动设备，密封地安装于盛有液体的密封腔体上，用于将旋转运动密封地传输至液态环境，所述密封腔体的侧壁上开设有安装孔，其特征在于：所述旋转运动传动设备包括驱动机构、联轴器、传动轴、传动齿轮及密封机构，所述密封机构密封地安装于所述侧壁上的安装孔内，所述密封机构上开设有连通所述密封腔体的连接孔，所述密封机构上还开设有连通所述连接孔的压缩空气入口，所述传动轴密封地穿设于所述连接孔内，且所述传动轴的伸入所述密封腔体内的一端安装有所述传动齿轮，所述传动轴的另一端伸出所述密封机构外并与所述联轴器的一端连接，所述联轴器的另一端与所述驱动机构的输出轴连接，所述驱动机构通过所述联轴器...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：余超平，李思述，范振华，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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