波前像差测定装置制造方法及图纸

一种波前像差测定装置，具有：设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统，上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈，上述照明光学系统沿着照明光学系统的光轴自由移动，以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调节到光学共轭关系的位置。由此，提供一种可抑制测定结果的误差的波前像差测定装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种波前像差测定装置，用于测定作为检查对象的透镜的波前像差。
技术介绍
作为波前像差的测定方法，夏克一哈特曼型传感器为世人所知。例如，在鹤田匡夫著的「第4光0鉛筆」(新技術- ^工二夕一 3 > <、1997年、212頁)中，有作为波前测定传感器的代表例的解说。测定由被测透镜产生的波前像差的波前像差测定装置的光学系统，一般使用照明光学系统，使光波入射到被测透镜；测量光学系统，测定来自被测透镜的光束的波前像 差。在测量光学系统中，当解析通过被测透镜产生的波前像差时，需要知道投影的开口的形状。因此，投影被测透镜的开口光圈，进行其形状测定。此时，为求出开口的中心，会将开口光圈缩小到最小，进行投影的开口的形状和位置的测定。
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是,为使开口光圈缩小到最小而使被测透镜内的开口光圈动作时，通过开口光圈的驱动，被测透镜的重心移动、或产生透镜部分的变形等影响，投影的开口形状和位置的测定结果可能产生误差。其结果是，波前像差的测定结果可能产生误差。本专利技术是鉴于这一情况而提出的，其目的在于提供一种可抑制测定结果误差的波前像差测定装置。用于解决问题本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.05 JP 2010-0873511.一种波前像差测定装置，其特征在于， 具有设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统， 上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈， 上述照明光学系统沿着照明光学系统的光轴自由移动，以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调节到光学共轭关系的位置。2.根据权利要求I所述的波前像差测定装置，其特征在于， 上述照明光学系统具有投影透镜， 上述投影透镜和其他照明光学系统的构成部件沿着照明光学系统的光轴相对自由移动。3.根据权利要求I或权利要求2所述的波前像差测定装置，其特征在于， 上述测量光学系统沿着上述被测透镜的光轴自由移动。4.根据权利要求I或权利要求2所述的波前像差测定装置，其特征在于， 上述测量光学系统具有沿着上述被测透镜的光轴自由移动的波前传感器。5.根据权利要求I或权利要求2所述的波前像差测定装置，其特征在于， 具有拍摄元件，其设置在相对上述开口光圈及上述被测透镜的入射光瞳面为光学共轭关系的位置处。6.根据权利要求5所述的波前像差测定装置，其特征在于， 具有透镜阵列，其设置在相对上述开口光圈及上述被测透镜的入射光瞳面为光学共轭关系的位置处。7.一种波前像差测定装置，其特征在于， 具有设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学...

【专利技术属性】
技术研发人员：大泷达朗，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：
国别省市：