大口径光学元件光学特性的快速检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种大口径光学元件光学特性的快速检测装置，包括泵浦光源，泵浦光能量回收反射镜，泵浦光束吸收装置，探测光源，顺次设置于探测光源输出端后的探测光束整形装置和偏振分光镜、设置于偏振分光镜透射输出端后四分之一波片，顺次设置于偏振分光镜反射输出端后空间滤波器阵列、滤光片和光电探测器阵列。本实用新型专利技术利用泵浦光能量回收反射镜对被测样品反射出来的激光能量进行回收重复利用从而大幅度提高大口径光学元件光学特性检测速度，可以用于光热无损检测、光热精密测量、光学吸收光谱、光热成像与缺陷分析等多个领域，特别适用于对大口径激光反射镜微弱吸收特性的快速检测与成像。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光热检测领域，具体是ー种利用能量回收镜对被测样品反射出来的激光能量进行回收重复利用从而大幅度提高大ロ径光学元件光学特性检测速度的装置。
技术介绍
大口径光学元件是各类大型激光系统中不可缺少的关键元件。其光学特性是否能够满足设计要求常常是相关大型激光系统能否成功运行的关键。大口径光学元件，特别是用于强激光系统的大口径光学元件，通常对其光学吸收特性要求较高，一方面要求平均吸收较小，另ー方面希望吸收特性比较均匀，尽量減少局部较大吸收缺陷的存在，以免产生局部激光破坏或者局部激光光束质量的下降。然而大口径光学元件吸收特性的精密測量目前并没有特别有效的方法，特别是当大口径光学元件吸收比较微弱，而同时又需要获得该吸 收的空间分布特性的时候。对于光学元件，特别是用于强激光系统的微弱吸收光学元件，其吸收特性的常用測量方法包括激光量热法以及其他各类光热測量方法，如基于光热表面变形的光热偏转法、表面热透镜法；基于光热折射率的光热偏转法、热透镜法等。这些方法都具有灵敏度很高(吸收率测量灵敏度可达10_7-10_8量级)、空间分辨率较高(可以比较容易的达到微米甚至亚微米量级横向空间分辨率)、非接触本文档来自技高网...

【技术保护点】
大口径光学元件光学特性的快速检测装置，包括泵浦光源、探测光源、光电探测器、设置于光电探测器前端的滤光片和空间滤波器，其特征在于：所述的大口径光学元件光学特性的快速检测装置还包括有泵浦光能量回收反射镜，泵浦光束吸收装置，顺次设置于探测光源输出端后的探测光束整形装置和偏振分光镜，设置于偏振分光镜透射输出端后四分之一波片；所述的空间滤波器阵列、滤光片和光电探测器阵列均设置于偏振分光镜反射输出端后。

【技术特征摘要】
1.大口径光学元件光学特性的快速检测装置，包括泵浦光源、探测光源、光电探测器、设置于光电探测器前端的滤光片和空间滤波器，其特征在于所述的大口径光学元件光学特性的快速检测装置还包括有泵浦光能量回收反射镜，泵浦光束吸收装置，顺次设置于探测光源输出端后的探测光束整形装置和偏振分光镜，设置于偏振分光镜透射输出端后四分之一波片；所述的空间滤波器阵列、滤光片和光电探测器阵列均设置于偏振分光镜反射输出端后。2.根据权利要求I所述的大口径光学元件光学特...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴周令，陈坚，吴令奇，
申请(专利权)人：合肥知常光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：