下载波前像差测定装置的技术资料

文档序号:8133829

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一种波前像差测定装置,具有:设置在被测透镜的入射侧的照明光学系统、设置在上述被测透镜的射出侧的测量光学系统,上述照明光学系统具有自由开关的开口光圈,上述照明光学系统沿着照明光学系统的光轴自由移动,以将上述开口光圈和上述被测透镜的入射光瞳面调...
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