一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像装置，包括有泵浦光源、探测光源、样品台和顺次设置的空间滤波器、探测光滤光片和光电探测器；泵浦光源至样品台之间顺次设置有泵浦光衍射分光装置、分色镜和聚焦成像透镜；探测光源至样品台之间顺次设置有探测光衍射分光装置、偏振分光镜、四分之一波片、分色镜和聚焦成像透镜；四分之一波片设置于偏振分光镜一输出端的后端；空间滤波器设置于偏振分光镜另一输出端的后端。本实用新型专利技术在成像速度上比传统的对样品逐点扫描方法可以有很大提高，另外由于无需进行逐点扫描，具体检测及成像仪器设计可以避免使用移动部件，有利于提高仪器的稳定性、降低成本、进一步小型化以及拓宽应用领域。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光热检测
，具体是ー种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像装置。
技术介绍
利用激光诱导表面热形变效应进行检测的基本原理是基于材料在光(以下称泵浦光)的作用下表面因吸收光能量导致局部温度升高，从而发生形变。这种热形变的空间分布及其随时间的变化与泵浦光參数和材料特性紧密相关。而且，由于这种表面热形变，从材料表面反射出来的光的传播特性会发生变化，产生会聚或发散效应，就像新増加了ー个透镜。因此，这种表面热形变效应又称为表面热透镜效应。 利用表面热形变效应进行材料特性检测和分析的最为常见的方法是利用一束振幅经过调制的泵浦光照射被测样品表面诱导产生热形变，同时利用另一束探測光经过样品表面热形变区域来探测泵浦光引起的表面热形变。测量时，在反射回来的探測光光路中加入ー个空间滤波器，经过空间滤波器后到达光电探測器的探測光能量会因为表面热形变对探測光的会聚或发散效应而变化。实际测量中，为提高响应，通常需要利用锁相技木。而对样品的ニ维成像则是通过对样品进行逐点扫描来获得。这种ニ维扫描成像方法可以获得较高的分辨率，在远场测量条件下近似受限于泵浦光/探測光的衍射极限，比较容易达到亚微米量级本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像装置，包括有泵浦光源和探测光源，位于泵浦光源和探测光源后端的样品台和顺次设置的空间滤波器、探测光滤光片和光电探测器；其特征在于：从所述的泵浦光源至样品台之间顺次设置有泵浦光衍射分光装置、分色镜和聚焦成像透镜；从所述的探测光源至样品台之间顺次设置有探测光衍射分光装置、偏振分光镜、四分之一波片、分色镜和聚焦成像透镜；所述的四分之一波片设置于偏振分光镜一输出端的后端；所述的空间滤波器设置于偏振分光镜另一输出端的后端；所述的光电探测器为光电探测器阵列。

【技术特征摘要】
1.一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像装置，包括有泵浦光源和探测光源，位于泵浦光源和探测光源后端的样品台和顺次设置的空间滤波器、探测光滤光片和光电探测器；其特征在于从所述的泵浦光源至样品台之间顺次设置有泵浦光衍射分光装置、分色镜和聚焦成像透镜；从所述的探测光源至样品台之间顺次设置有探测光衍射分光装置、偏振分光镜、四分之一波片、分色镜和聚焦成像透镜；所述的四分之一波片设置于偏振分光镜一输出端的后端；所述的空间滤波器设置于偏振分光镜另一输出端的后...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴周令，陈坚，
申请(专利权)人：合肥知常光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：