芯片内部电源输出电压测量系统及方法技术方案

本发明专利技术提供了一种芯片内部电源输出电压测量系统及方法。根据本发明专利技术的芯片内部电源输出电压测量系统包括：测试机以及探针卡；其中所述测试机通过所述探针卡连接至待测芯片；其中，所述测试机包括驱动电压施加单元以及电源管理单元；而且其中，所述驱动电压施加单元用于向内部电源供电以确保电源供给的准确性；所述电源管理单元用于所述向所述待测芯片施加驱动电流，以量测所述待测芯片的内部电源输出电压；并且其中，所述测试机的第一通道和第二通道在输出端相互短接并连接至所述探针卡的一个输入端口；而且，所述探针卡的所述输入端口对应于所述待测芯片的一个引脚。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造エ艺，更具体地说，本专利技术涉及一种。
技术介绍
半导体芯片的制造的整个流程主要由设计、晶圆制造、封装测试几部分組成。其中，中测(Wafer test)是半导体后道封装测试的第一道エ序，中测也称为针测、晶圆测试、电路探测(CP, Circuit Probing)、晶圆检测(Wafer Sort)、晶圆探测(WaferProbing)等。中测的目的是将硅片中不良的芯片挑选出来。中测所用到的设备有测试机(IC Tester)、探针卡(Probe Card)、探针台(Prober) 以及测试机与探针卡之间的接ロ(Mechanical Interface)。在对芯片的性能进行测试时，测试机通过探针卡连接至芯片引脚。其中，芯片的ー个引脚对应针卡的ー根引脚，且对应于测试机的ー个通道，由此形成一一对应的关系。在进行芯片(例如嵌入式闪存芯片)的内部电源输出电压测量时，测试机的单个通道不能同时既向嵌入式闪存芯片提供驱动电压(即，测试机给内部电源供电以确保电源供给的准确性)，又作为用于电源管理単元(PMU)的通道。其中，电源管理単元用于向嵌入式闪存芯片施加驱动电流，以量测芯片内部电源输出电压。由此，不便于测量芯片内部电源输出电压。在现有技术中，一般采用外部源电压测量仪来进行芯片内部电源输出电压测量。因此，希望能够提供一种能够在不使用外部源电压测量仪的情况下就能进行芯片内部电源输出电压测量的。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供ー种能够在不使用外部源电压测量仪的情况下就能进行芯片内部电源输出电压测量的。为了实现上述技术目的，根据本专利技术的第一方面，提供了一种芯片内部电源输出电压测量系统，其包括测试机以及探针卡；其中所述测试机通过所述探针卡连接至待测芯片；其中，所述测试机包括驱动电压施加単元以及电源管理単元；而且其中，所述驱动电压施加単元用于向内部电源供电以确保电源供给的准确性；所述电源管理単元用于所述向所述待测芯片施加驱动电流，以量测所述待测芯片的内部电源输出电压；并且其中，所述测试机的第一通道和第二通道在输出端相互短接并连接至所述探针卡的ー个输入端ロ ；而且，所述探针卡的所述输入端ロ对应于所述待测芯片的ー个引脚。 优选地，所述待测芯片是嵌入式闪存芯片。优选地，在所述测试机内部，所述第一通道用干与所述驱动电压施加单元连接，所述第二通道用干与所述电源管理单元连接；并且，在任何时刻，仅仅所述第一通道与所述驱动电压施加単元的连接以及所述第二通道与所述电源管理単元的连接之一接通。优选地，所述测试机的所述第一通道和所述第二通道在所述测试机的内部相互短接，并且所述第一通道和所述第二通道在所述测试机内部的内部短接端选择性地连接至所述驱动电压施加単元以及所述电源管理単元之一。优选地，所述第一通道和所述第二通道在所述测试机内部的内部短接端通过单刀双掷开关K选择性地连接至所述驱动电压施加单元以及所述电源管理単元之一。根据本专利技术的第二方面，提供了芯片内部电源输出电压测量方法，其包括通过所述探针卡将所述测试机连接至待测芯片，其中，测试机包括驱动电压施加単元以及电源管理单元，驱动电压施加単元用于向内部电源供电以确保电源供给的准确性；电源管理単元用于所述向所述待测芯片施加驱动电流，以量测所述待测芯片的内部电源输出电压；将所述测试机的第一通道和第二通道在输出端相互短接并连接至所述探针卡的ー个输入端ロ；以所述探针卡的所述输入端ロ对应于所述待测芯片的ー个引脚的方式连接所述探针卡和所述待测芯片；使所述第一通道与所述驱动电压施加単元的连接以及所述第二通道与所述 电源管理单元的连接之一接通。根据本专利技术的第三方面，提供了芯片内部电源输出电压测量方法，其包括通过所述探针卡将所述测试机连接至待测芯片，其中，测试机包括驱动电压施加単元以及电源管理单元，驱动电压施加単元用于向内部电源供电以确保电源供给的准确性；电源管理単元用于所述向所述待测芯片施加驱动电流，以量测所述待测芯片的内部电源输出电压；将所述测试机的第一通道和第二通道在输出端相互短接并连接至所述探针卡的ー个输入端ロ；以所述探针卡的所述输入端ロ对应于所述待测芯片的ー个引脚的方式连接所述探针卡和所述待测芯片；将所述测试机的所述第一通道和所述第二通道在所述测试机的内部相互短接；将所述第一通道和所述第二通道在所述测试机内部的内部短接端选择性地连接至所述驱动电压施加单元以及所述电源管理単元之一。优选地，将所述第一通道和所述第二通道在所述测试机内部的内部短接端通过单刀双掷开关选择性地连接至所述驱动电压施加单元以及所述电源管理単元之一。由此，本专利技术提供一种能够在不使用外部源电压测量仪的情况下就能进行芯片内部电源输出电压测量的。附图说明结合附图，并通过參考下面的详细描述，将会更容易地对本专利技术有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中图I示意性地示出了根据本专利技术实施例的芯片内部电源输出电压测量系统的结构框图。图2示意性地示出了根据本专利技术实施例的芯片内部电源输出电压测量系统的另一种结构框图。图3示意性地示出了根据本专利技术实施例的芯片内部电源输出电压测量方法的流程图。需要说明的是，附图用于说明本专利技术，而非限制本专利技术。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。具体实施例方式为了使本专利技术的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本专利技术的内容进行详细描述。<第一实施例>图I示意性地示出了根据本专利技术实施例的芯片内部电源输出电压测量系统的结构框图。如图I所示，根据本专利技术实施例的芯片内部电源输出电压测量系统包括测试机I以及探针卡2 ;其中所述测试机I通过所述探针卡2连接至待测芯片3。其中，测试机I包括驱动电压施加単元21以及电源管理単元22。而且其中，驱动电压施加単元21用于向内部电源供电以确保电源供给的准确性；电源管理単元22用于所 述向所述待测芯片3施加驱动电流，以量测所述待测芯片3的内部电源输出电压。并且，其中，所述测试机I的第一通道Chl和第二通道ch2在输出端相互短接并连接至所述探针卡2的一个输入端ロ Al。而且，所述探针卡2的所述输入端ロ Al对应于所述待测芯片3的一个引脚pinl。在ー个具体实施例方式中，如图I所示，在所述测试机I内部，所述第一通道chi用干与所述驱动电压施加単元21连接，所述第二通道ch2用干与所述电源管理単元22连接；并且，在任何时刻，仅仅所述第一通道chi与所述驱动电压施加単元21的连接以及所述第二通道ch2与所述电源管理単元22的连接之一接通。例如，可以通过程序控制来实现上述接通功能。图2示意性地示出了根据本专利技术实施例的芯片内部电源输出电压测量系统的另一种结构框图。优选地，在另一具体实施例方式中，如图2所示，所述测试机I的所述第一通道Chl和所述第二通道ch2在所述测试机I的内部相互短接，并且所述第一通道chi和所述第二通道ch2在所述测试机I内部的内部短接端B选择性地连接至所述驱动电压施加単元21以及所述电源管理単元22之一。所述第一通道chi和所述第二通道ch2在所述测试机I内部的内部短接端B通过单刀双掷开关K选择性地连接至所述驱动电压施加単元21以及所述电源管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种芯片内部电源输出电压测量系统，其特征在于包括：测试机以及探针卡；其中所述测试机通过所述探针卡连接至待测芯片；其中，所述测试机包括驱动电压施加单元以及电源管理单元；而且其中，所述驱动电压施加单元用于向内部电源供电以确保电源供给的准确性；所述电源管理单元用于所述向所述待测芯片施加驱动电流，以量测所述待测芯片的内部电源输出电压；并且其中，所述测试机的第一通道和第二通道在输出端相互短接并连接至所述探针卡的一个输入端口；而且，所述探针卡的所述输入端口对应于所述待测芯片的一个引脚。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：桂伟，任栋梁，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：