【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空高温卧式烧结炉,具体为一种真空高温卧式烧结炉的真空系统。
技术介绍
真空高温卧式烧结炉是在真空环境下利用电阻加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子,在高温环境下运作。现有的真空高温卧式烧结炉的真空系统是按“高真空油扩散泵一罗茨真空泵一滑片真空泵”这样的顺序连接的。这样的顺序的弊端是在只开滑片真空泵预抽真空的时候,罗茨真空泵的叶轮是没有动力的,此种情况下预抽真空,炉内的空气在被滑片真空泵抽出的时候将会经过罗茨真空泵的叶轮而将其带动,这样就会损失一部分 抽空动能,降低滑片真空泵的抽空效果。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种真空高温卧式烧结炉的真空系统,以解决上述
技术介绍
中的缺点。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现真空高温卧式烧结炉的真空系统,包括通过真空管道依次连接的烧结炉、高真空油扩散泵、罗茨真空泵和滑片真空泵,所述高真空油扩散泵与罗茨真空泵之间的真空管道上设有真空蝶阀,所述高真空油扩散泵与滑片真空泵之间增设一套真空管道,该套真空管道由第一管道和第二管道构成,所述第一管道的两端分别连接在所述高真空油扩散泵与罗茨真空泵之间的真空管道上、 ...
【技术保护点】
真空高温卧式烧结炉的真空系统,包括通过真空管道依次连接的烧结炉、高真空油扩散泵、罗茨真空泵和滑片真空泵,其特征在于,所述高真空油扩散泵与罗茨真空泵之间的真空管道上设有真空蝶阀,所述高真空油扩散泵与滑片真空泵之间增设一套真空管道,该套真空管道由第一管道和第二管道构成,所述第一管道的两端分别连接在所述高真空油扩散泵与罗茨真空泵之间的真空管道上、罗茨真空泵和滑片真空泵之间的真空管道上;所述第二管道的两端分别连接在所述第一管道上和所述高真空油扩散泵与罗茨真空泵之间的真空管道上;所述第一管道上设有真空蝶阀,所述第二管道上设有真空球阀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:唐建中,
申请(专利权)人:株洲高力新材料有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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