燃料电池极板的MEMS制造方法技术

本发明专利技术提供了一种燃料电池极板的MEMS制造方法，包括：在衬底上形成垫氧层；在所述垫氧层上形成垫氮层；蚀刻所述垫氮层和所述垫氧层，以形成硬掩模图形；以所述硬掩模图形为掩模，蚀刻所述衬底，在所述衬底的上表面上形成未贯穿所述衬底的多个微孔，所述多个微孔构成台面微结构；采用填充物以部分填充所述多个微孔，继续蚀刻其余微孔，直至形成贯穿所述衬底的多个穿孔；去除所述填充物、垫氧层、垫氮层，完全暴露所述衬底；在所述衬底的整个表面上形成绝缘层；在所述绝缘层的上表面上形成电极层。依照本发明专利技术的燃料电池极板的MEMS制造方法，相对于现有技术，减少了工艺步骤，降低了制造和时间成本，提高了加工精度及其相应的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种燃料电池极板的MEMS制造方法，包括：步骤A，在衬底上形成垫氧层；步骤B，在所述垫氧层上形成垫氮层；步骤C，蚀刻所述垫氮层和所述垫氧层，以形成硬掩模图形；步骤D，以所述硬掩模图形为掩模，蚀刻所述衬底，在所述衬底的上表面上形成未贯穿所述衬底的多个微孔，所述多个微孔构成台面微结构；步骤E，采用填充物以部分填充所述多个微孔，继续蚀刻其余微孔，直至形成贯穿所述衬底的多个穿孔；步骤F，去除所述填充物、垫氧层、垫氮层，完全暴露所述衬底；步骤G，在所述衬底的整个表面上形成绝缘层；步骤H，在所述绝缘层的上表面上形成电极层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李春龙，赵超，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：