用于检测密封性的方法技术

本发明专利技术公开了一种用于检测密封性的方法，其中被排空的测试对象（20）暴露于试验气体的外部影响之下，并且其中从测试对象中吸出的试验气体和载气构成的气体混合物借助试验气体传感器（27）针对试验气体来进行检查，所述试验气体传感器（27）在气体混合物的气流中设置在压缩器泵（26）之后，使得试验气体传感器分析被压缩的气体混合物，其中在没有围绕的试验室的情况下测试对象（10）暴露于外部的气氛中，并且设置有试验气体枪（23）以产生包含试验气体的气氛。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，其中将填充以试验气体的测试对象插入试验室中，并且其中从试验室吸出的试验气体和载气构成的气体混合物借助试验气体传感器针对试验气体进行检查。此外，本专利技术涉及一种，其中被排空的测试对象被暴露于试验气体的外部影响下，并且其中从测试对象吸出的试验气体和载气构成的气体混合物借助试验气体传感器针对试验气体进行检查。
技术介绍
已知的用于完整的密封性检测的方法设计了 用试验气体填充的测试对象被置于试验室中。试验室借助真空系统来排空，其中在真空系统中集成有试验气体传感器。一种典型的试验气体是氦气，其目前通过使用质谱仪来检测。为了检测，氦需要高真空条件，其中压力p必须小于10-4毫巴(mbar)。另一用于完整的密封性检测的方法设计了 测试对象被排空并且暴露于试验气体的外部影响下。连接到测试对象的真空系统能够实现在质谱学上检测试验气体。密封性检测系统具有通常由应用情况所确定的时间常数。该时间常数说明了直到达到稳定的信号条件的时间。该时间常数通过试验室容积和在试验室处的试验气体抽吸能力来确定T = V/ST :系统时间常数(63%—时间)V :试验室的容积S :泵对于试验气体的抽吸能力。借助装置能够测量的最小的泄漏率取决于系统可以检测的最小的试验气体分压力。在相应的应用中占主导地位的试验气体分压力如下给出p=Q/Sp :试验气体的分压力Q :来自测试对象的试验气体的泄漏率S :泵对于试验气体的抽吸能力。在此出现了矛盾不能同时提高试验气体分压力和降低时间常数。大的试验气体抽吸能力虽然降低了信号反应时间，然而同样降低了试验气体压力并且由此降低了系统敏感度。在WO 2005/054806A1 (Sensistor)中描述了一种根据相应的权利要求的前序部分所述的真空检测系统，其中在试验室或者在测试对象中引入试验气体。在两个空腔的相应另一个中输送载气。当在测试对象上存在泄漏时，试验气体到达载气流中并且与其一同排到密封的泵中。在泵的出口上连接有试验气体传感器，该试验气体传感器在气氛压力下工作。通过使用载气方法，测量在泵之后的被压缩的气体混合物的试验气体分压力。由此，可以实现高的系统灵敏度，因为在泵之后的被压缩的气体的试验气体分压力是高的。压缩器泵提高了在试验室或者在测试对象内部占主导地位的总压力，在泵出口上提高到IOOOmbar。
技术实现思路
本专利技术的任务是，提出一种用于密封性检测的方法，其中降低了所需的载气的量。本专利技术的第一变形方案如下。一种，其中将填充有试验气体的测试对象插入到试验室中，并且其中从试验室吸出的试验气体和载气构成的气体混合物借助试验气体传感器针对试验气体进行检查，其中试验气体传感器在气体混合物的气流中设置在压缩器泵之后，载气在试验室之后输送给试验气体的气流。据此，在包含测试对象 的试验室之后将载气输送给试验气体流。载气例如可以输送给在试验气体流中连接到试验室的第一泵或者在第一泵和随后的第二泵之间。借助本专利技术实现了试验气体探测的高敏感度，其中载气流被保持得较小。本专利技术的第二变形方案如下。一种用于检测密封性的装置，具有泵装置，该泵装置从容纳测试对象的试验室或者从测试对象中抽出气体；以及连接到泵装置的试验气体传感器，其中，试验气体传感器设置在多级的泵装置的最后级上或者最后级之前。据此，试验气体传感器设置在多级泵装置的最后级上或者之前。在现有技术中试验气体传感器在气氛压力下设置在泵装置的末端，而本专利技术设计了，将试验气体传感器在多级泵装置内朝向试验室移置。由此实现了缩短测量时间的优点，因为缩短了试验气体从试验室至测量传感器的传输时间。根据本专利技术的第三变形方案如下。一种，其中被排空的测试对象暴露于试验气体的外部影响之下,并且其中从测试对象中吸出的试验气体和载气构成的气体混合物借助试验气体传感器针对试验气体来进行检查，所述试验气体传感器在气体混合物的气流中设置在压缩器泵之后，使得试验气体传感器分析被压缩的气体混合物，其中，在没有围绕的试验室的情况下测试对象暴露于外部的气氛中，并且设置有试验气体枪以产生包含试验气体的气氛。其设计了，在没有包围的试验室的情况下测试对象暴露于外部气氛下，并且使用了试验气体枪来产生包含试验气体的气氛。一个优点是不需要试验室。此外，在测试对象的受限的面积范围中产生了包含试验气体的气氛，使得容易对其上已识别出泄漏的位置进行标识。载气在测试对象之后输送给试验气体的气流。本专利技术的第四变形方案如下。一种用于检测密封性的装置，具有泵装置，其从容纳测试对象的试验室或者从测试对象中抽出气体；以及连接到泵装置的试验气体传感器，其中，泵装置产生在气氛压力之上的高压，并且试验气体传感器连接到所述高压。据此，在一种用于检测密封性的装置中设计了，泵装置产生在气氛压力以上的高压并且试验气体传感器连接到高压。优点是，在气氛压力之上进行气体混合物的压缩，由此也进行试验气体的更高的压缩。由此，得到试验气体的更高的分压力，结果是压力测量以更高的灵敏度进行。本专利技术还包括如下方案。一种用于对测试对象进行密封性检测的装置，具有用于在被排空的测试对象之外产生包含试验气体的气氛的装置；能够直接地或者与另一部件串联地连接到测试对象的、压缩器泵，其中试验气体传感器连接到泵的压缩器出口，其中，在没有围绕的试验室的情况下测试对象暴露于外部的气氛中，并且设置有试验气体枪以产生包含试验气体的气氛。在本专利技术中，大体上应用了载气方法，其中被压缩的气体混合物的试验气体分压力在将气体压缩的输送单元之后被测量。由此，可以实现高的系统灵敏度，因为被压缩的气体的试验气体分压力高。根据本专利技术的方法的前提是，试验气体传感器可以与气体混合物的总压力无关地检测试验气体的分压力。这种选择性的分压力传感器是已知的，例如作为石英窗传感器，该分压力传感器与总压力无关地测量分压力。 压缩器泵将试验室或者在测试对象内部占主导地位的总压力在泵出口提高到l，000mbar。在泵之前的压力和泵之后的压力之间的关系是压缩比。在压缩步骤中，保持了输送媒质中的浓度。于是，随着压缩，在所输送的气体混合物中的试验气体分压力以压缩比提闻。当输送给传感器的气流并未超过载气流并且载气流被选择得尽可能小时，实现了最优的灵敏度。必要时可以借助压缩机来将被压送的气体进一步压缩，使得总压力在IOOOmbar以上。由此也进一步提高了试验气体分压力。本专利技术能够实现快速的系统反应时间(低的时间常数)，同时实现高的系统灵敏度。更高的试验气体分压力可以用于改进系统的检测极限或者用于减小测量时间。在试验室中的压力可以被任意程度地降低，而这对于在压缩器泵之后在试验气体传感器之前的工作压力没有影响。由此可能的是，通过降低压力来减小试验室中的交换时间，而并不损失灵敏度。最后可能的是，通过降低试验室中的工作压力在同时成比例地降低的载气流的情况下提高检测系统的灵敏度，而并不劣化交换时间。任何气体类型都可能作为试验气体，对此存在与总压力无关的试验气体传感器。例如，氦气或者氢气适合作为试验气体。考虑所有气体作为载气，也包括以恒定的试验气体浓度污染的气体。例如氮气或者空气适合作为试验气体。附图说明下面参照附图进一步阐述本专利技术的实施例。其中图I示出了根据本专利技术的第一变形方案的方法的示意图；图2示出了根据本专利技术的第三和第四变形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检测密封性的方法，其中被排空的测试对象（20）暴露于试验气体的外部影响之下，并且其中从测试对象中吸出的试验气体和载气构成的气体混合物借助试验气体传感器（27）针对试验气体来进行检查，所述试验气体传感器（27）在气体混合物的气流中设置在压缩器泵（26）之后，使得试验气体传感器分析被压缩的气体混合物，其特征在于，在没有围绕的试验室的情况下测试对象（10）暴露于外部的气氛中，并且设置有试验气体枪（23）以产生包含试验气体的气氛。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔·韦齐希，
申请(专利权)人：因菲康有限公司，
类型：发明
国别省市：