【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于对包括具有气体入口的分压力传感器的检漏仪进行功能测试的方法。
技术介绍
检漏仪用于检测气体流中的测试气体的存在。所述气体流通常将通过从容器抽吸气体而产生;然而,也能够使用仅由扩散产生的气流。当相对于容器从外部喷洒通常为氦气的测试气体时,可能存在的泄露将导致测试气体侵入到容器的内部,从而使得在从容器抽吸的气体中可检测到测试气体。另一方法设计为,将测试气体引入到待测试密封性的容器中。在容器的外侧,借助嗅吸型检漏仪施加抽吸,以便检测从容器流出的测试气体。如果泄漏检测要在下述真空系统中执行,该真空系统是包括待被排空的容器和真空泵装置的类型,那么检漏仪将连接于真空泵装置的抽吸管线。用于测试气体的检测的复杂的检漏仪包括质谱仪,但是也已知的是需要较少技术支出并且重量相对较轻的分压力传感器。在WO 2002 003057(因菲康(Inficon))中描述了设计成使用氦气或氢气作为测试气体的这种分压力传感器。所述传感器包括窗口,该窗口设有膜,该膜可选择性地渗透例如氦气,并且界定传感器腔室,并且,在传感器腔室的内部进一步包括压力传感器。该传感器在任意环境压力下 ...
【技术保护点】
1.一种用于对检漏仪进行功能测试的方法,所述检漏仪包括具有气体入口(24)的分压力传感器(21),其特征在于,将包括具有可变容积的腔室(33)的测试装置(30)连接于所述检漏仪(20),通过改变所述腔室(33)的大小,包含在环境空气中的测试气体的分压力在所述分压力传感器的气体入口(24)处被改变,并且,检验所述检漏仪是否指示这种改变。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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