【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种半导体器件铜线焊接铜球保护装置。
技术介绍
半导体器件的芯片和管脚的连接,以往基本采用金线方式,但随国际金价飙升,金线所占半导体器件的成本比重也随之增加很多,导致器件制造成本居高不下,影响企业竞争力。摆在企业面前的问题是怎样用其它廉价线材生产出性能更好,成本更低的半导体器件就变的非常重要,铜线因其导电性能好,和铝可形成共键焊接,成为ー种很好的替代金线选择,但铜线在高压打火成型过程中会氧化,随之硬度变高,球形不良,会对芯片焊垫结构造成损伤。怎么使球不氧化,球形良好成为ー个很重要的必需克服问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种半导体器件铜线焊接铜球保护装置,该保护装置不仅克服了半导体器件采用铜线会被氧化的技术难题,使半导体器件采用铜线焊接成为ー种可能,而且结构简单,有利于铜线更好的焊接,使用效果好。本专利技术的技术方案在于一种半导体器件铜线焊接铜球保护装置,其特征在于该保护装置包括氢氮混合配气装置,所述氢氮混合配气装置的混合气输出端经连接气管与设置在焊线机打火装置旁侧的毛细管相连接,所述毛细管经固定座与焊线机打火装置固连。上述连接气管上还设置有流量计。上述氢氮混合气各组分的体积比为N2 :H2=9(T95 :5 10。作为ー种优选方案,所述氢氮混合气各组分的体积比为=N2 H2=95 :5。另外,本技术还公开了一种半导体器件铜线焊接铜球保护方法,其特征在于在焊线机打火装置旁侧安装毛细管,并使毛细管对准打火烧球位置,当高压对铜线放电,铜线尖端因高压融化成球,同时毛细管吹出氢氮混合气,以使铜球与空气隔开,避免被氧化。上述氢氮混合气各组分的体积比 ...
【技术保护点】
一种半导体器件铜线焊接铜球保护装置,其特征在于:该保护装置包括氢氮混合配气装置,所述氢氮混合配气装置的混合气输出端经连接气管与设置在焊线机打火装置旁侧的毛细管相连接,所述毛细管经固定座与焊线机打火装置固连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘友志,
申请(专利权)人:福建福顺半导体制造有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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