波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备制造技术

本发明专利技术提供一种波长可变干涉滤波器，该波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，与第一基板相对；第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上，第二反射膜隔着反射膜间间隙与第一反射膜相对；以及第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上，其中，该第一基板具有：第一反射膜固定面，设置有第一反射膜；以及第一电极面，设置有第一电极，第一电极面与第二基板的距离不同于第一反射膜固定面与第二基板的距离，在第一反射膜固定面和第一电极面的与第二基板的距离大的面上，设置层叠有第一反射膜和第一电极的层叠部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种波长可变干涉滤波器、具备该波长可变干涉滤波器的光模块以及具备该光模块的电子设备。
技术介绍
在现有技术中，已知有如下所述的波长可变干涉滤波器在一对基板的彼此相对的面上，分别隔着规定的间隙而相对配置有反射膜(例如，参照专利文献I)。在专利文献I记载的波长可变干涉滤波器中，在两个光学基板的相对的面上分别设置有反射层，而且，在这些光学基板的相对的面上，在反射层的直径外侧设置有电容电 极。在该波长可变干涉滤波器中，彼此相对的电容电极作为静电致动器而发挥作用，通过在这些电容电极间施加电压，从而基于静电引力而使反射层间的间隙发生变化。在先技术文献专利文献专利文献I :日本专利特开2002-277758号公报但是，在这样的波长可变干涉滤波器中，电荷往往会积存在反射层上，在彼此相对的反射层上分别带电的情况下，会产生静电力。因此，即使在为了将反射层间的间隙设定为设定值而在静电致动器上施加规定的设定电压的情况下，由于反射层的带电而引起的静电力，有时也不能将间隙设定为期望的设定值。在这种情况下，就存在有难以从波长可变干涉滤波器取出期望波长的光的课题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够高精度地取出所期望的波长的光的波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备。本专利技术的波长可变干涉滤波器具备第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，所述第二反射膜隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对；以及第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上，其中，所述第一基板具有第一反射膜固定面，设置有所述第一反射膜；以及第一电极面，设置有所述第一电极，所述第一电极面与所述第二基板的距离不同于所述第一反射膜固定面与所述第二基板的距离，在所述第一反射膜固定面和所述第一电极面的与所述第二基板的距离大的面上，设置层叠有所述第一反射膜和所述第一电极的层叠部。根据本专利技术，在第一基板的第一反射膜固定面和第一电极面中，在与第二基板的距离大的面上，设置通过第一反射膜和第一电极层叠而形成的层叠部，通过该层叠部，使第一反射膜和第一电极面接触而电导通。由此，即使在第一反射膜带电的情况下，也能够使滞留的电荷从第一电极释放，可以防止在第一反射膜和第二反射膜之间由于带电而产生静电力。这里，也可以考虑通过使第一电极的端部边缘与第一反射膜的端部边缘接触而使它们导通。但是，在这种情况下，由于接触面积小，导通可靠性也降低，因此，存在不能使第一反射膜的电荷可靠地释放到第一电极的担忧。与其相反，如上所述，通过层叠第一电极和第一反射膜来设置层叠部，可以使第一电极和第一反射膜可靠地进行面接触而使它们电导通。并且，在本专利技术中，该层叠部设置在第一反射膜固定面和第一电极面中的、与第二基板的距离更大的一个面上。因此，反射膜间间隙或者电极间间隙的可变量就不会被该层叠部所抑制。因此，也可以防止能够由波长可变干涉滤波器取出的波段发生窄波段化的问题。优选在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，还具备第二电极，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，隔着比所述反射膜间间隙大的电极间间隙与所述第一电极相对，其中，所述层叠部构成为层叠有所述第一反射膜和所述第一电极的外周边缘，所述第一反射膜从所述第一反射膜固定面延伸至覆盖所述第一电极面。 在波长可变干涉滤波器中，通过第一反射膜和第二反射膜之间的反射膜间间隙来确定经由透过或者反射而被取出的波长。因此，在波长可变干涉滤波器中，为了对应于更广范围的波段而取得透过或者反射波长，需要扩大反射膜间间隙的变动范围。这里，在第一电极和第二电极之间施加电压，利用静电引力而使反射膜间间隙变动的情况下，如果电极间间隙小于反射膜间间隙，则只能够使反射膜间间隙仅在电极间间隙间变动。在这样的结构中，反射膜间间隙的变动范围变小，能够由波长可变干涉滤波器取出的波段将变窄。与其相反，在本专利技术中，由于电极间间隙形成得大于反射膜间间隙，因此，可以使反射膜间间隙在更大的变动范围内变化，可以使能够由波长可变干涉滤波器取出的波段更宽。此外，一般而言，作用于电极间的静电引力与距离的平方成反比例，因此，如果电极间间隙变小，则难以进行静电引力的控制，并且难以进行反射膜间间隙的调整。与其相反，在本专利技术中，由于电极间间隙形成得大于反射膜间间隙，因此，易于进行静电引力的控制，可以高精度地将反射膜间间隙设定为期望的值。优选在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，所述层叠部构成为在所述第一电极上层叠所述第一反射膜。在本专利技术中，层叠部是第一反射膜层叠在第一电极上的结构。S卩、在第一基板上形成了第一电极之后，形成第一反射膜。这里，如果在形成第一电极之前，在第一基板上形成第一反射膜，则在形成第一电极时，该第一反射膜会易于劣化，会产生波长可变干涉滤波器的分辨率下降等问题。与其相反，通过先在第一基板上形成第一电极之后，再形成第一反射膜，可以抑制制造工序中的第一反射膜的劣化。因此，能够形成反射特性良好的第一反射膜，可以抑制波长可变干涉滤波器的分辨率下降。优选在本专利技术的波长可变干涉滤波器中，还具备与所述第二反射膜连接的反射膜连接电极。在本专利技术中，由于反射膜连接电极与第二反射膜连接，因此，可以从该反射膜连接电极释放滞留在第二反射膜上的电荷，可以更加可靠地防止在第一反射膜和第二反射膜之间产生静电力。因此，通过控制施加在第一电极和第二电极上的电压，可以高精度地控制反射膜间间隙。此外，也可以将反射膜连接电极与第一电极设定为等电位，在这种情况下，也不会在第一反射膜和第二反射膜之间产生静电引力，因此，可以容易且高精度地实施反射膜间间隙的控制。本专利技术的光模块具备上述那样的波长可变干涉滤波器；以及检测部，用于检测由所述波长可变干涉滤波器取出的光。如上所述，本专利技术的波长可变干涉滤波器，即使在第一 反射膜带电的情况下，也能够使该电荷从第一电极释放，因此，不会在反射膜间间隙中产生静电力，可以准确地控制反射膜间间隙的尺寸。由此，在波长可变干涉滤波器中，可以高精度地使期望波长的光透过或者反射而取出。并且，在具备这样的波长可变干涉滤波器的光模块中，通过由检测部检测波长可变干涉滤波器所取出的期望波长的光的光量，可以准确地检测该期望波长的光的光量。优选在本专利技术的光模块中，所述波长可变干涉滤波器具备与所述第二反射膜连接的反射膜连接电极，所述光模块具备使所述反射膜连接电极与所述第一电极成为等电位的电压控制部。在本专利技术中，电压控制部将与第二反射膜连接的反射膜连接电极和第一电极设定为等电位。由此，第一反射膜和第二反射膜之间的电位差为0，因此，在第一反射膜和第二反射膜之间没有产生静电引力，可以高精度地控制反射膜间间隙的尺寸。本专利技术的电子设备具备上述的光模块。根据本专利技术，由于电子设备具备具有上述的波长可变干涉滤波器的光模块，因此，可以根据高精度地检测出的期望波长的光的光量，实施电子设备中的各种电子处理。附图说明图I是表示本专利技术所涉及的一实施方式的测色装置的概略结构的框图。图2是本实施方式的波长可变干涉滤波器的俯视图。图3是本实施方式的波长可变干涉滤波器的截面图。图4是表示其他实施方式的波长可变干涉滤波器的概略结构的截面图。图5是表示其他实施方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，所述第二反射膜隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对；以及第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上，其中，所述第一基板具有：第一反射膜固定面，设置有所述第一反射膜；以及第一电极面，设置有所述第一电极，所述第一电极面与所述第二基板的距离不同于所述第一反射膜固定面与所述第二基板的距离，在所述第一反射膜固定面和所述第一电极面的与所述第二基板的距离大的面上，设置层叠有所述第一反射膜和所述第一电极的层叠部。

【技术特征摘要】
2011.04.11 JP 2011-0872251.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备 第一基板； 第二基板，与所述第一基板相对； 第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相対的面上； 第二反射膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相対的面上，所述第二反射膜隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相対；以及 第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板 相対的面上， 其中，所述第一基板具有 第一反射膜固定面，设置有所述第一反射膜；以及 第一电极面，设置有所述第一电极，所述第一电极面与所述第二基板的距离不同于所述第一反射膜固定面与所述第二基板的距离， 在所述第一反射膜固定面和所述第一电极面的与所述第二基板的距离大的面上，设置层叠有所述第一反射膜和所述第一电极的层叠部。2.根据权利要求I所述的波长可变干涉滤波器，其特征在干，还具备 第二电极，设置在所述第二基板的与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐野朗，松野靖史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：