【技术实现步骤摘要】
本技术属于托盘装置，具体地说，涉及一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘。
技术介绍
随着半导体电子化学品行业的发展，超纯电子化学品设备被越来越广泛的选用， 由于电子化学品的金属离子及其他杂质控制的要求，反应釜搅拌轴的支承轴承或轴套在运转时很难避免有磨损或油污掉入反应釜内，这会严重影响到反应釜内化学介质的纯净度， 特别对于超纯要求的磁力反应釜，对于金属离子要求达到PPb级或更高的PPt级别，绝对不允许有任何的杂质混入到反应釜内的化学介质中。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服上述缺陷，提供一种结构简单、能够完全避免杂质混入反应釜化学介质内的新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘。为解决上述问题，本技术所采用的技术方案是一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于包括托盘本体和设置在托盘本体中间位置的轴孔。所述托盘本体的下端面设置有连接装置。作为一种改进所述托盘本体包括托盘和设置在托盘底端面上的托盘架；所述托盘架底部与连接装置连接。所述托盘包括两个半圆托盘，其中一个半圆托盘的外径和另外一个半圆托盘的内径是相同的；所述直径小的半圆托盘插入到直径大的半圆托盘中并通过螺栓连接；所述两个半圆托盘的中心位置设置有通孔，通孔与轴孔等大并且圆心在同一垂直的直线上。作为进一步地改进 所述连接装置装置连接为抱箍。作为更进一步改进所述连接装置为对称安装在托盘架底部的紧固螺栓。由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本技术为安装在反应釜内搅拌轴上的防污染托盘，防污染托盘分为一体式和分体式两种样式，并且都是套接在搅拌轴上， 并通过连接装置固定在搅拌轴上。本...
【技术保护点】
一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于：包括托盘本体和设置在托盘本体中间位置的轴孔（5）。
【技术特征摘要】
1.一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于包括托盘本体和设置在托盘本体中间位置的轴孔(5)。2.根据权利要求I所述的新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于所述托盘本体的下端面设置有连接装置。3.根据权利要求I所述的新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于所述托盘本体包括托盘(I)和设置在托盘底端面上的托盘架(2);所述托盘架(2)底部与连接装置连接。4.根据权利要求3所述的新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于所...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾秋林，顾建军，顾枫，
申请(专利权)人：太仓顺达磁力泵科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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