一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘制造技术

技术编号：9162877 阅读：190 留言：0更新日期：2013-09-19 12:31

本发明专利技术公开了一种新型超纯衬里磁力反应釜搅拌轴用防污染托盘，其特征在于：包括托盘本体和设置在托盘本体中间位置的轴孔。作为一种改进：所述托盘本体的下端面设置有连接装置。所述托盘本体包括托盘和设置在托盘底端面上的托盘架；所述托盘架底部与连接装置连接。本发明专利技术分为一体式和分体式两种样式，并且都套接在搅拌轴上，并通过连接装置固定在搅拌轴上。本发明专利技术用于避免磨损下来的支承轴承或轴套残渣或者或油污掉入反应釜中，特别对于超纯要求的磁力反应釜，对于金属离子要求达到PPb级或更高的PPt级别，保证不会有任何的杂质混入反应釜化学介质内，保证了反应釜化学介质内的纯度。