【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及使用喷射到部件上的液体的单个半导体或电子部件的清洗。清洗和干燥单个基板的一种方法是利用压水喷嘴和鼓风机，其中单个基板是安装在把持底夹盘上并且覆盖着多孔材料。然而，像压力漂洗喷嘴清洗在湿度控制上带来困难，因而在单个基板的干燥时间上导致额外消耗并能损坏设备的电路。此外，还需要使用复杂的设计，以及制造用于在实行漂洗的压力反应室中把持基板的工具。另一种方法是使用超声波槽，其中单个基板固定在底夹盘结构上、被覆盖着并且浸入在超声波清洗液中。然而，所述超声波槽的结构是复杂的并通常造成较长的操作时间、较长的干燥时间和超声波清洗液污染物处理的困难。另外，像常规超声波槽的驱动频率不适合清洗布线键合的电子器件。第三种方法是使用离心力清洗。单个基板通过真空装置把持在运载器上。然后运载器快速地旋转，并且通过压水喷嘴漂洗基板以及然后通过自旋运动干燥基板。然而，水和碎屑将通过缝隙扩散在单个基板上，并且由于运载器的真空压力而陷入到基板表面下。最终，水印和污染物形成在单个基板的表面上。需要有一种改进的工艺，用于清洗小至亚微米水平的单个基板，并缩短整个清洗工艺的周期时间。根据本专...
【技术保护点】
一种超声波清洗组件，其特征在于，包括： 具有形成在其中的多个切割凹口的表面的切割夹盘，用于在夹盘的表面上使用切割器件，从具有多个电子部件的基板分离单个的电子部件； 在夹盘和夹盘上的分离电子部件的上面支持的震动喷嘴，震动喷嘴可以朝部件放射液体；以及 附有喷嘴的超声波发生器，能适当地超声激发通过喷嘴流通的液体。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：张耀明，史泽棠，
申请(专利权)人：先进自动器材有限公司，
类型：发明
国别省市：HK[中国|香港]
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