超声波洗涤机以及具有超声波洗涤机的湿处理喷嘴制造技术

本发明专利技术涉及一种超声波洗涤机，具有截面为凹状、内部有夹层空腔部的筐体，在该筐体的内底面设置有超声波振动器，在上述夹层空腔部中装有空烧防止液，在上述筐体中设置有防止筐体壁面振动的压铁，上述筐体具有Ｕ字形的第一、第二筐体，所述第一、第二筐体的中央部呈凹陷状、四周端部形成遮檐状；在上述第二筐体的凹部嵌入上述第一筐体的凹部，上述第一、第二筐体的端部相对配置；上述端部之间夹持着密封垫，在该第一、第二筐体间形成上述夹层空腔部；上述密封垫由中央部有穿孔的弹性部件构成，上述第一、第二筐体由板状部件构成，第一、第二筐体的上述遮檐状端部通过夹持弹性部件及贯穿这些端部的螺栓来连接，通过对螺栓紧固程度的调节改变密封垫的厚度。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种超声波洗涤机以及具有超声波洗涤机的湿处理喷嘴。
技术介绍
在对单张液晶板或半导体片进行洗涤时，现有都是采用，例如图21所示的超声波喷淋洗涤机450。该超声波喷淋洗涤机450，如图所示，在筐体451的内部设有存放洗涤液S的空腔452，在该筐体451的侧面上部，设有向上述空腔452输送洗涤液S的输液口453。在筐体451的下部设有放出洗涤液S用的喷嘴454，另外，在筐体451的上面，装着超声波振动器455。洗涤的方法是让被洗涤物P从该超声波喷淋洗涤机450下面通过，这时，由图中未表示出的超声波发生装置驱动超声波振动器455，将洗涤液S喷射到被洗涤物P的表面，进行洗涤。但是，采用这种洗涤方法，洗涤液的用量很大，因此有人考虑采用图22所示的节水型超声波洗涤机460。该超声波洗涤机460具有中央部461a呈凹陷状、四周端部461b呈遮檐状的筐体461，超声波振动器462配置于该筐体461的中央部表面，通过使该超声波振动器462振动，让超声波辐射到通过筐体461下面的洗涤液S中的被洗涤物P，进行洗涤。此外，还有人考虑采用与该方法类似的、图23所示的超声波洗涤机470。该超声波洗涤机470具有中央部471a呈凹陷状、四周端部471b呈遮檐状的第一筐体471，以及包围着该第一筐体471、同样是中央部472a呈凹陷状、四周端部472b呈遮檐状的第二筐体472。在筐体471与472的端部471b、472b之间夹持着密封垫473，在第一筐体471与第二筐体472之间形成空腔474。另外，在该空腔474中装有防止空烧用的液体，例如水475，同时在第一筐体471的中央部表面设置超声波振动器476，通过使该超声波振动器476振动，通过空腔474中的水475，让超声波辐射到通过第二筐体472下面的洗涤液S中的被洗涤物P，进行洗涤。图22所示的超声波洗涤机460，虽然是节水型的，但是超声波振动器462的振动能除了使筐体461的底面振动、通过洗涤液S辐射到被洗涤物P之外，其余的使得筐体461的壁面产生振动，造成了能源的浪费。图23所示的超声波洗涤机470，其密封垫的厚度会因紧固力的大小而产生细微的差异，结果造成空腔474的厚度，即其内部装着的水的深度产生变化。在采用这类通过水使超声波辐射到被洗涤物的方法时，如水深产生变化，因为超声波的波长与水深之间的关系，从第二筐体的中央部底面的声波辐射面发出的辐射声压便会产生较大的变化。也就是说，由于密封垫的紧固力左右着辐射声压，因此缺乏稳定性。这样，在水的深度不恰当，超声波辐射面发出的辐射声压较小时，从超声波振动器发出的能量中未被有效利用的部分便被用作使第二筐体的壁面产生振动的能量，这不仅造成浪费，而且还可能因筐体的振动而对其它装置造成影响。
技术实现思路
本专利技术的课题是提供一种超声波辐射效率容易调整的超声波洗涤机以及具有超声波洗涤机的湿处理喷嘴。本专利技术所述的另一种超声波洗涤机，具有截面为凹状、内部有夹层空腔部的筐体，在该筐体的凹形里面的内底面设置有超声波振动器，在上述空腔中装有将上述超声波振动器发生的振动传到上述筐体凹形外面的外底面的空烧防止液，其特征是，在上述筐体中设置有防止筐体壁面振动的压铁，上述筐体具有U字形的第一筐体和U字形的第二筐体，所述第一、第二筐体的中央部呈凹陷状、四周端部形成遮檐状；在上述第二筐体的凹部嵌入上述第一筐体的凹部，上述第一、第二筐体的端部相对配置；上述端部之间夹持着密封垫，在该第一筐体与第二筐体之间形成上述夹层空腔部；上述密封垫由中央部有穿孔的弹性部件构成，上述第一筐体与第二筐体由板状部件构成，第一筐体的上述遮檐状端部与第二筐体的上述遮檐状端部对弹性部件的夹持通过贯穿这些端部的螺栓来实现，通过对螺栓紧固程度的调节改变密封垫的厚度。采用这样的喷嘴，因为可以在向被处理面供给处理液的同时，将使用过的处理液通过排出通道适当地排出，所以可以总是用新鲜的处理液处理被处理面，可以防止使用过的处理液再污染被处理面。由于处理液因表面张力等的压力平衡而被保持在被处理面与振动引导部件之间的间隙中，因此可以用最低限度必要量的处理液对被处理面进行湿处理，并且可以确实地使被处理面受到超声波振动。由于采用了设有压铁的超声波洗涤机作为振动引导部件，所以可以获得湿处理所必需的超声波能量，用最低限度必要量的处理液便可极好地进行处理。该湿处理喷嘴设有对处理液的压力与大气压的差进行控制，使与被处理物接触过的处理液在湿处理后不流到排出通道外的压力控制装置。该压力控制装置由，例如设置于排出通道下游的吸入泵以及设置于引入通道上游的供液泵构成，另外具有探测与被处理物接触的处理液的压力用的压力传感器，以及根据该压力传感器的信号对吸入泵与供液泵的驱动进行控制的控制装置。采用这样的结构，即使空腔的厚度、即空烧防止液、例如水的深度与超声波的波长因为例如密封垫紧固的关系而不匹配，超声波振动器产生的能量通过空烧防止液使筐体凹形外面的底面产生振动，也可以由压铁来抑制振动，因此振动能可通过空烧防止液回归筐体中央底面，作为超声波从底面高效地发送出来。空烧防止液最好用除气的液体。通过除气，空烧防止液的流量(为冷却而进行的循环)也可以大幅度地降低。如该空烧防止液中有大量气泡，则还是会产生与空烧同样的现象的。因为上述的压铁是用来提高筐体刚性的装置，因此可设置于外面的外壁面与内壁面的任何一面，所以最好设置于构成筐体的上述凹形外面的外壁面与内壁面中至少一面。在这种情况下，因为压铁还提高了凹形里面的壁面刚性，从而防止了设置于凹形里面的超声波振动器发出的超声波振动能量逃逸到壁面，因此也可以设置于构成筐体的上述凹形里面的外壁面与内壁面中至少一面。通过将上述压铁设置于凹形外面的内底面的、与设置在凹形里面的超声波振动器相当的面积的外侧，便可防止超声波能量从凹形外面的内底面的周边泄漏到壁面，通过将上述压铁设置于设置在凹形里面的超声波振动器的外侧，可以防止超声波能量从凹形里面的内底面泄漏到壁面，因此上述压铁也可以设置在上述筐体的上述凹形外面的内底面与上述凹形里面的底面中至少一面，即内底面或底面上不会妨碍超声波振动器产生振动的部位。此外，上述的压铁是为了改变筐体本身的刚性而设置的，因此其构成方法可以采用新加压铁的办法，也可以采用使必要的部分增加厚度的办法，所以可以采用改变筐体的上述外凹面或上述内凹面的厚度的方法来形成。因为上述的压铁是通过提高筐体的刚性、使壁面的固有频率与振动输入的频率不同，不产生共振，从而防止超声波振动器发出的能量被传到壁面的，因此最好是在上述筐体的壁面四周全部设置压铁。采用这样的筐体，只要在该空腔中注入适当的液体，即使筐体下面没有湿处理液，也不会发生空烧，可防止超声波振动器被损坏。在筐体下面有湿处理液的情况下，则可以使超声波能量充分地传输到湿处理液。采用这样的结构，夹在第一筐体的遮檐状端部与第二筐体的遮檐状端部之间的弹性部件的厚度便可用调节螺栓紧固程度的办法进行调整，这样便可方便地对超声波的辐射强度进行调整。另外，本专利技术所述的另一种湿处理喷嘴，其一侧具有引入处理液的引入通道，另一侧具有排出湿处理后的处理液的排出通道，同时在上述引入通道与上述排出通道之间，具有将上述引入通道引入的处理液引导到被处理物、在使被处理物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波洗涤机，具有截面为凹状、内部有夹层空腔部的筐体，在该筐体的凹形里面的内底面设置有超声波振动器，在上述夹层空腔部中装有将上述超声波振动器发生的振动传到上述筐体凹形外面的外底面的空烧防止液，其特征是，在上述筐体中设置有防止筐体壁面振动的压铁，上述筐体具有Ｕ字形的第一筐体和Ｕ字形的第二筐体，所述第一、第二筐体的中央部呈凹陷状、四周端部形成遮檐状；在上述第二筐体的凹部嵌入上述第一筐体的凹部，上述第一、第二筐体的端部相对配置；上述端部之间夹持着密封垫，在该第一筐体与第二筐体之间形成上述夹层空腔部；上述密封垫由中央部有穿孔的弹性部件构成，上述第一筐体与第二筐体由板状部件构成，第一筐体的上述遮檐状端部与第二筐体的上述遮檐状端部对弹性部件的夹持通过贯穿这些端部的螺栓来实现，通过对螺栓紧固程度的调节改变密封垫的厚度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：三森健一，笠间泰彦，芳贺宣明，小野昭一，副岛润一郎，高桥典久，藤江明雄，岩崎峰夫，
申请(专利权)人：阿尔卑斯电气株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]