超声波洗涤机以及具有超声波洗涤机的湿处理喷嘴制造技术

本发明专利技术涉及一种超声波洗涤机，具有截面为凹状、内部有夹层空腔部的筐体，在该筐体的内底面设置有超声波振动器，在上述夹层空腔部中装有空烧防止液，在上述筐体中设置有防止筐体壁面振动的压铁，上述筐体具有Ｕ字形的第一、第二筐体，所述第一、第二筐体的中央部呈凹陷状、四周端部形成遮檐状；在上述第二筐体的凹部嵌入上述第一筐体的凹部，上述第一、第二筐体的端部相对配置；上述端部之间夹持着密封垫，在该第一、第二筐体间形成上述夹层空腔部；上述密封垫由中央部有穿孔的弹性部件构成，上述第一、第二筐体由板状部件构成，第一、第二筐体的上述遮檐状端部通过夹持弹性部件及贯穿这些端部的螺栓来连接，通过对螺栓紧固程度的调节改变密封垫的厚度。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种超声波洗涤机以及具有超声波洗涤机的湿处理喷嘴。
技术介绍
在对单张液晶板或半导体片进行洗涤时，现有都是采用，例如图21所示的超声波喷淋洗涤机450。该超声波喷淋洗涤机450，如图所示，在筐体451的内部设有存放洗涤液S的空腔452，在该筐体451的侧面上部，设有向上述空腔452输送洗涤液S的输液口453。在筐体451的下部设有放出洗涤液S用的喷嘴454，另外，在筐体451的上面，装着超声波振动器455。洗涤的方法是让被洗涤物P从该超声波喷淋洗涤机450下面通过，这时，由图中未表示出的超声波发生装置驱动超声波振动器455，将洗涤液S喷射到被洗涤物P的表面，进行洗涤。但是，采用这种洗涤方法，洗涤液的用量很大，因此有人考虑采用图22所示的节水型超声波洗涤机460。该超声波洗涤机460具有中央部461a呈凹陷状、四周端部461b呈遮檐状的筐体461，超声波振动器462配置于该筐体461的中央部表面，通过使该超声波振动器462振动，让超声波辐射到通过筐体461下面的洗涤液S中的被洗涤物P，进行洗涤。此外，还有人考虑采用与该方法类似的、图23所示的超声波洗涤机470。该超声本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波洗涤机，具有截面为凹状、内部有夹层空腔部的筐体，在该筐体的凹形里面的内底面设置有超声波振动器，在上述夹层空腔部中装有将上述超声波振动器发生的振动传到上述筐体凹形外面的外底面的空烧防止液，其特征是，在上述筐体中设置有防止筐体壁面振动的压铁，上述筐体具有Ｕ字形的第一筐体和Ｕ字形的第二筐体，所述第一、第二筐体的中央部呈凹陷状、四周端部形成遮檐状；在上述第二筐体的凹部嵌入上述第一筐体的凹部，上述第一、第二筐体的端部相对配置；上述端部之间夹持着密封垫，在该第一筐体与第二筐体之间形成上述夹层空腔部；上述密封垫由中央部有穿孔的弹性部件构成，上述第一筐体与第二筐体由板状部件构成，第一筐体的上述遮檐状...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：三森健一，笠间泰彦，芳贺宣明，小野昭一，副岛润一郎，高桥典久，藤江明雄，岩崎峰夫，
申请(专利权)人：阿尔卑斯电气株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]